压电纳米定位台—芯明天科技

压电纳米定位台

P11 是压电陶瓷驱动的压电纳米定位台，1-3维多种规格可选，压电纳米定位台采用无摩擦无空回的柔性铰链导向机构，采用有限元分析优化柔性铰链结构，具有超高的导向精度，定位精度可达纳米级，分辨率达亚纳米，毫秒级定位稳定时间，产品体积小巧，结构紧凑，易于集成到其他设备中。

特点：

产品体积小巧，结构紧凑

1~3维三个规格版本可选

单轴运动行程100μm，分辨率4nm

开环/闭环版本可选

应用：

显微光学   半导体测试   纳米定位   生物技术   微加工  微操作