美国布鲁克斯BROOKS 5860E电子流量传感器5860EA1441DA

美国布鲁克斯BROOKS 5860E电子流量传感器5860EA1441DA  

brooks气体质量流量计技术参数

• 数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
• 介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
• 流量范围:0.03-30slpm
• 量程比：50:1
• *大工作压力: 1500psi(10.432Mpa)
• 气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG
• 电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge
• 精度:±1%FS
• 重复性：0.25% of rate
• 响应时间：1-3s
• 差压要求：3-6bar（压差要求与介质、量程有关）
• 操作温度范围：5~65℃
• 输出信号：0-5VDC或4-20mA
• 电源：+/-15V