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Aera气体质量流量计FC-7810CD C100506168 7SLM NH3 FC-7700CD C100506019 3SLM SiH4
优点
一、响应速度小于2秒
二、使用一年以上,零点漂移小于满量程的0.5%
三、标准接头和尺寸
四、膜层与蚀刻特性好
特性
一、非金属密封
二、VCR连接
三、量程范围从10SCCM到150SLM
四、常闭或常开式电磁阀
五、允许清洗流量可以达到校准值的百倍
六、漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
气体质量流量计FC-7810CD FC-7700CD
Aera
24V
12860.0
艾默生罗斯蒙特质量流量计CMF200M418NQG8MZZZ
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