日本小岛KOFLOC 5400系列质量流量控制器100SCCM

日本KOFLOC 5400系列质量流量控制器/计无焊接结构，金属密封，精确度≤±1%，反应时间≤±1/秒，基本性能适用于半导体过程控制，实现了划时代的低成本。型号5410系列同样主体的设计价格也十分合理。适用于高真空设备、半导体洁净室、高纯气体输送等对泄漏率有很高要求的场合。

产品特色：

通过安装温度流量传感器得到高精确的快速回应

通用的常闭型阀门

无焊接构造，金属密封确保低的泄露,泄漏率1×10-11Pa•m3/s

采用膈膜阀减少了死区

间距，主体尺寸和连接的设计可以和其它生产商的控制器兼容

技术参数：

流量FS(N2换算)：10SCCM-20SLM

气体种类：所有气体(腐蚀性、有毒、特殊气体都可)，高纯气体

传感器类型：热式传感器

阀门类型：电磁比例阀，常闭

控制范围：2%-100%

控制速度：2%-100%,1秒以内

         另可选：QS快启动，反映时间更快

控制精度：±1.0%FS以内

线性：    ±0.5%FS以内

重复性：  ±0.2%FS以内

工作差压：满量程FS≤5升/分钟，49-294Kpa

         5升/分钟≤满量程FS≤100升/分钟，98-294Kpa

低差压特制：2-149Kpa，根据具体流量来定制

高差压特制：294-784Kpa，根据具体流量来定制

产品耐压：980Kpa

泄漏率：最大为1x10-11Pa.m3 /sec以内

使用温度：0-50℃

允许湿度：10-90%

产品材质：主体-SUS316L

         密封圈：SUS316L

管路接头：1/4英寸VCR

电气接头：D型9针

输入信号：0-5V(模拟信号)

输出信号：0-5V(模拟信号)

供应电源：+15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)200mA

产品重量：1000g

电气D型9针连线示意图：

1号针：阀门开关信号(可不接)

2号针：输出信号0-5V

3号针：电源+15VDC

4号针：电源COM

5号针：电源-15VDC(

6号针：输入信号(高)

7号针：输出信号COM

8号针：输入信号(低)

9号针：阀门工作电压反馈(可不接)