日本富士金质量流量计MH6092ASN FCST1030LC-4J2-F3L-SF6 523467

Fujikin质量流量计MH6092ASN  FCST1030LC-4J2-F3L-SF6 523467

规格参数
1. 多气体多量程（MG/MR）功能
2. 可在客户端简单打盾进行气体种类/流量变更，从10sccm至50slm
3. 准确度高：±1%S.P.（100-25%），±0.25%F.S.(25%-2%)(精度保证范围15-35℃)
4. 再现性：±0.2% F.S
5. 强耐腐蚀性
6. 输入输出信号:模拟（0-5VDC）/RS-485、Device Net
7. 全量程范围、响应速度快，≤1sec
8. 密封材质：金属密封/橡胶密封
9. 阀门种类：NO常开NC常闭型
10. 动作压力：400kPaG(Ar:500kPaG)
11. 耐压：1MPa
12. 使用温度：5-50℃
13. 金属密封外部泄漏率：1 x 10 -11 Pa&﹟8226;m3/sec He
14. 橡胶密封外部泄漏率：1 x 10 -7 Pa&﹟8226;m3/sec He
15. 材质：SS316L不锈钢
16. 接口方式：1/4vcr金属面密封连接，卡套连接