美国MKS 246C/247D/647C四通道质量流量控制器

MKS 246C单通道质量流量控制器电源/读数输出单通道、单读数输出的246C可对任一流量传感器进行控制和显示读数。流量设置点的调整既受前面板控制，又可通过后面板上的模拟接口进行遥控。该组件具有±15V的直流电源。246C可与358，558,1150,1359,1559,1179,1479,179,180,1480，GE50A,GM50A,GV50A等一起使用。MKS 247D四通道质量流量控制器电源/读数输出四通道、可选的单个读数输出的247D可对任一流量传感器进行控制和显示读数。流量设置点的调整既受前面板控制，又可通过后面板上的模拟接口进行遥控。该组件具有±15V的直流电源。247D可与358，558,1150,1359,1559,1179,1479,179,180,1480，GE50A,GM50A,GV50A等一起使用。**如果使用超过2个通道，还需要额外的电源（型号：CB1559-1-M1）MKS 647C质量流量控制器四/八通道质量流量和压力编程器/显示器 647是一种全机架尺寸的多通道控制器，它能提供压力和流量的控制。最多8个的气体质量流量通道和一个压力通道使它能够独立的、或者基于比率的气流控制。LCD显示器可在同时显示一个压力通道数据和最多4个流量通道数据，可以在前面板上进行直接控制，也可以通过模拟接口或RS-232接口进行远程控制。MKS 647C质量流量控制器订购资料（例：型号647C4R0N）通道订购序列号4个48个8界面 RS-232R控制选配件 无0PID压力控制1继电器选配 无N继电器：4通道T继电器：8通道T