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产品属性
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产品应用:
DC、RF、mmW测试;
纳米级电子器件测试、微机电测试;
超导测试。
产品特点:
80k-573k温度范围,可扩展至4k-1073k。
载物台内部液氮浸润式结构,快速降温,液氮使用量更少,节约耗材成本。
高真空不锈钢真空腔体(配套分子泵组可达10-6mbar)。
低温测试时真空腔体体内无凝露、结霜。
红外截止玻璃观察窗,提升测试腔内部温度稳定性。
4探针点测系统,最多可定制8探针点测系统。
配套同轴或三轴电缆可应用于高精度的DC测试。
配套微波测试套件可应用于DC-67GHz的RF测试或频率更高的mmW测试。
技术指标 |
载物台 |
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尺寸 |
4"(2"、6"、8"方案可选) |
材质 |
合金铜 |
表面处理 |
可选纯金镀层或沉镍镀层 |
平整度 |
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载物台移动基座(可选项) |
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X-Y轴行程范围 |
4"*4",根据载物台尺寸可选更大行程,电动控制系统可选 |
精度 |
1μm |
R轴微调角度范围 |
±9° |
R轴微调精度 |
0.0001°/deg |
Z轴细调行程范围 |
13mm |
细调精度 |
1μm |
Z轴快升行程 |
350μm |
Z轴往复精度 |
<1μm |
温度控制系统 |
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温度范围 |
80k-573k |
温度精度 |
0.1℃ |
温控精度 |
温控精度0.1℃,连续变温无节点。 |
温度均匀性 |
0.1℃@4(100mm)载物台。 |
加热方式 |
电阻加热 |
制冷方式 |
液氮制冷 |
杜瓦罐容量 |
80L自增压液氮杜瓦罐 |
致冷剂消耗量 |
15L液态氮(室温降至80k) |
温度扩展范围 |
4k-1073k |
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真空系统 |
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真空度 |
10-3mbar*(可配套分子泵组,达到更高的真空度10-6mbar) |
真空泵 |
旋片式双级油封真空泵,可升级涡轮分子泵组 |
抽速 |
16m3/h |
抽真空时间 |
5min(10-3mbar) |
真空焊接波纹管 |
三维弯曲大于25mm(定制参数) |
法兰 |
KF(更高真空度要求则使用CF) |
真空腔体 |
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腔体材质 |
不锈钢 |
观察舷窗 |
红外截止玻璃** |
真空泵接口法兰 |
KF25 |
液氮接口法兰 |
KF25 |
点测系统 |
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探针座数量 |
4个(最多8个,可根据需求定制) |
探针夹具 |
4个(最多8个,可根据需求定制) |
定位精度 |
5μm(可根据需求定制) |
X-Y-Z轴移动行程 |
25mm*25mm*25mm(可根据需求定制) |
光学系统(体视显微镜) |
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光学放大倍数 |
15X-100X |
变焦倍率 |
0.75X-5X(变倍比6X) |
CCD |
1/3”数字CCD,1920X1024像素,30ftps,USB2.0接口 |
显微镜旋臂 |
两段式显微镜支架,可快速移动定位显微镜 |
光学系统(单筒显微镜) |
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光学放大倍数 |
400X(21英寸显示器) |
变焦倍率 |
0.58X-7X(变倍比12X,超大变倍范围) |
CCD |
1/3”数字CCD,1920X1024像素,30ftps,USB2.0接口 |
显微镜旋臂 |
两段式显微镜支架,可快速移动定位显微镜 |
显微镜移动基座(可选项) |
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X-Y轴行程范围 |
2"*2",根据载物台尺寸可选更大行程,电动控制系统可选 |
精度 |
1μm |
防震台 |
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隔震方式 |
气囊式防震台 |
固有频率 |
1.2Hz(水平),1.5Hz(水平) |
样品振动 |
<300nm(真空泵工作时) |
*低温测试时真空腔体内无凝露或结霜。
**红外截止玻璃:过滤红外光,防止红外光进入真空腔体内使腔体内部升温,提升载物台温度稳定性。
***77k为液氮温度,实际操作中,由于载物台热传导损耗的存在,无法达到77k。根据液氮循环的时间而定,实际温度不会低于85k。VM探针台
PRCBE
4"(2"、6"、8"方案可选)
<50μm@300℃