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产品属性
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LAB系列探针台-模块化结构设备、全功能型探针台
产品应用:
DC、RF、mmW测试
纳米级电子器件测试,微机电测试,高功率测试
产品特点:
LAB系列为真正意义上的模块化结构设计探针台,让用户可完全围绕实际应用,选择最适合的功能配置,确保最佳成本解决方案的同时满足用户将来的升级需求。
LAB系列可定制的模块为:载物台及其移动基座模块、探针座放置平台移动模块和显微镜及其移动基座模块。用户可自行配置功能模块的同时,还可根据自身需求增加探针卡夹具、激光器、微腔体屏蔽系统、半自动控制系统、全自动控制系统、高温测试系等,满足更多的应用需求。
LAB系列还为用户提供了一个高刚性和稳定性的测试系统。载物台移动基座和探针台底座一体化的结构设计,显著地提高了载物台的结构刚性和稳定性。显微镜支撑为龙门结构,可应用于高放大倍率的光学系统,保证光学系统的稳定性。探针座放置平台采用高刚性结构设计,保证平台板整体的垂直应力形变在5μm/10N以内,拥有极高的稳定性以满足高精度探针座的定位要求。
技术指标 |
载物台(常规晶圆载物台) |
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尺寸 |
6"(152.4mm),可选更大尺寸,如8"或12" |
材质 |
不锈钢 |
平整度 |
≤±2.5μm |
真空区域* |
0,2",4",6"环形吸附** |
真空控制 |
手动控制,独立真空区域 |
真空驱动方式 |
真空泵 |
载物台电性能 |
载物台信号导通,可选择接地或接信号 |
*根据载物台尺寸有所不同,如载物台尺寸为12",则真空吸附区域为0,2",4",6",8",12"。 ** 除环形吸附外,还可选微孔吸附式载物台,以适用于厚度在50μm或以内的晶圆。 |
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载物台移动基座 |
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X-Y轴行程范围* |
6"*6"(152.4mm*152.4mm),可选更大行程 |
精度 |
1μm |
R轴粗调角度范围 |
360° |
R轴细调角度范围 |
±9° |
微调精度 |
0.0001°/deg |
Z轴细调行程范围 |
13mm |
细调精度 |
1μm |
Z轴快升行程 |
0~6mm, 可调 |
Z轴往复精度 |
<1μm |
载物台快速拖出行程 |
100mm |
*根据载物台尺寸不同,行程有所不同,如载物台为12",则X-Y移动行程为12"*12"。 |
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探针座放置平台 |
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材质 |
钢,表面沉镍处理 |
平台板尺寸* |
可放置8个CM50或4个RF50探针座 |
平台板至载物台高度 |
1.496”(38mm) |
探针座兼容性 |
可兼容磁力或真空吸附底座的探针座 |
Z轴细调行程范围 |
45mm |
Z轴快升行程 |
350μm |
Z轴往复精度 |
<1μm |
*此处为6"探针台可放置的探针座数量 ,更大尺寸探针台详询客服人员。 |
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显微镜移动基座 |
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X-Y轴行程范围 |
2"*2"(50mm* 50mm) |
X-Y轴精度 |
1μm |
调焦行程 |
2"(50mm) |
精度 |
1μm |
Z轴粗调行程 |
100mm |
气动升降行程 |
40mm |
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光学系统 |
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类型 |
金相显微镜,可选体视或单筒显微镜 |
光学放大倍数* |
20X-2000X |
* 根据所选物镜或显微镜放大倍数不同会有不同的光学放大倍数,详细请咨询客服人员。 |
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其它信息 |
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台体尺寸 |
724mm*606mm*610mm(W*D*H) |
重量 |
120kg |
加热载物台(可选项) |
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尺寸 |
6"(152.4mm),可选更大尺寸,如8"或12" |
温度范围 |
室温~300℃ |
温控精度* |
0.5℃(典型值) |
温度均匀性 |
0.5℃@6"载物台 |
加热时间 |
<6min(室温~300℃) |
标准配置的加热台为自然冷却,可选风冷或水冷套件。 |
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RF载物台(可选项) |
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尺寸 |
6"(152.4mm),可选更大尺寸,如8"或12" |
校准片载物台 |
2个(独立真空控制) |
尺寸 |
配套CS-5等尺寸的校准片 |
校准片载物台角度调节范围 |
7° |
材质 |
不锈钢 |
平整度 |
≤±2.5μm |
真空驱动方式 |
真空泵 |
其它扩展配件(可选项) |
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探针卡夹具 |
可根据探针卡尺寸定制,应用于多点或自动测试 |
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激光器 |
1064nm,532nm,355nm,三个波段自由配置,对芯片线路进行切割修改。 |
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半自动控制系统 |
实现晶圆小批量半自动测试需求 |
设备环境要求 |
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电源 |
220V±10% |
真空 |
-8bar |
压缩空气 |
0.6MPa |
LAB探针台
PRCBE
724mm*606mm*610mm(W*D*H)
120kg