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压电陶瓷电动机是基于压电现象产生超声驻波的原理而开发的,应用于运动控制领域的精密电动机,也称超声波电动机。与直流电动机相似,具有高分辨率和压电驱动装置的动态特性。电动机工作时没有内在磁场和运动部件,结构紧凑,行程不受限制,能够达到直线和旋转电动机所不能匹敌的精度。压电陶瓷电动机可用在从普通环境到超高真空环境的半导体设备、平面平台设备、光学纤维制动态元件制造、存储介质制造和测试设备、生物医药和制药、度量衡和超高精度的微型数控等设备中。
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