压电台XY

QNP-XY系列

两轴，XY压电纳米定位台

 

长器件寿命

高精度，无摩擦弯曲导向系统

优越的定位分辨率和线性度，以0.007％与直接测量电容式传感器的选择

与其他QNP系列压电纳米定位的安装兼容性

开环和真空版本

 

 

个压电纳米定位阶段艾特航空QNP™系列提供纳米级性能在一个紧凑，高刚度包。各种旅游（100微米至600微米）和反馈选项使这个应用程序，从显微镜的光学定位的理想解决方案。

高品质的紧凑包装

该QNP压电阶段由使用有限元分析优化，以确保高刚性和长寿命的设备精确制导弯曲。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率可实现高处理吞吐量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装最小化阶段堆积高度和运动质量，从而导致优异的静态和动态多轴性能。

 

 

 

高清晰度和定位精度

所有QNP压电阶段具有闭环反馈采用了独特的电容传感器的设计，其允许亚纳米分辨率和高线性度的选项。电容传感器测量的定位托架的直接输出，从而实现更高的精度和可重复性。

 

超精密控制

超精密控制当与Aerotech的Q系列控制器和驱动器，该QNP压电纳米定位阶段证明亚纳米定位分辨率和定位稳定性（抖动），和高的定位带宽。软件选项，如艾特航空的动态控件工具箱和Motion设计软件包提供了一系列先进且易于使用的工具，如学习控制，消谐，和命令整形，提供更好的跟踪误差和更快一步 - 西雅图时报。

 

自动参数和校准识别正在使用Aerotech的闪存配置功能来完成。舞台被自动识别，所有的操作参数，包括轴校准数据上传到控制器，确保安全，准确，真实的“插件和播放”操作。

设计灵活性

Aerotech QNP压电阶段都可以用电容传感器反馈或无反馈（开环）。开环提供了用于其中紧凑尺寸，高动态，和亚纳米定位分辨率是必需的应用具有成本效益的选择，但绝对定位精度和可重复性是不需要的。开环的设计也可使用，其中，压电的位置是通过一个外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光检测器等）来控制。

 

一个可选的安装板，可直接安装到英制或公制面包板光学平台。该QNP系列还包括XY和Z阶段中常见的旅行用适配器板安装在一起。

 

所有QNP压电阶段是在要求真空编写版本。

 

QNP-XY SPECIFICATIONS

机械规格		-QNP-40-100L	QNP-50-250L	QNP-60-500L
闭环行程		100um	250um	500um
开环行程 -30 to +150 V(1)		120um	300um	600um
分辨率	闭环（集成反馈）	0.30 nm	0.50 nm	0.90 nm
	开环	0.15 nm	0.20 nm	0.40 nm
线性(3)(4)		0.01%	0.01%	0.007%
双向重复性（5）		1 nm	1 nm	3nm
俯仰/偏航		6 μrad (1.2 arc sec)	6 μrad (1.2 arc sec)	612μrad(2.5arc sec)
刚度（运动方向）（6）		1.25 N/μm	0.40 N/μm	0.27 N/μm
空载谐振频率（6）		1300 Hz	475 Hz	350 Hz
谐振频率（50克负载）（6）		650 Hz	325Hz	260 Hz
推/拉容量（在运动方向）（7）		10 N
最大有效负载（8）		1KG
平台重量		0.06kg	0.09kg	0.12kg
材料		阳极氧化铝（9）
MTBF（平均故障间隔时间）		30,000 Hours

注意事项：

1.音值±10％。

2.见压电技术参考部分4.2，支持分辨率描述。

3.认证与每个阶段（闭环反馈的型号）。

4.请参阅压电技术参考部分4.1的线性度指标描述。

5.指定为1西格马（标准偏差）的值。见压电技术参考部分4.3双向重复性描述。

6.音值±20％。

7.见压电技术参考4.6节的压电阶段额定载荷的描述。

8.在轴载荷上市。

9.外部元件阳极氧化铝。一些内部组件都是不锈钢的。根据要求的其他材料。

10.规格测量中心，并在大约15毫米以上的输出托架的高度。