供应KAMAN电涡流传感器用于磁悬浮轴承定位方法

KAMAN电涡流传感器用于磁悬浮轴承定位方法

磁力轴承是一种利用可控的非接触电磁力将转子稳定悬浮于空间中,使转子与定子之间没有机械接触的新型高性能机电一体化轴承。它具有无接触、无需润滑和主动阻尼振动等优点,广泛应用于真空技术、机床、透平机械和陀螺仪等领域。磁力轴承必须在闭环下才能稳定地工作,因此需要采用非接触式传感器来检测转子位移。在的众多非接触式位移传感器中,KAMAN高精度电涡流位移传感器SMT9700由于具有结构简单、体积小、灵敏度高、线性范围大、抗干扰能力强、性能稳定、不受油污等介质的影响等优点,在磁力轴承系统中得到了广泛应用。目前大多数的研究是针对被测导体在传感器轴向方向运动时的位移检测方法和性能的研究,而针对被测导体在传感器径向方向运动时的位移检测方法的研究非常少见,因此,磁悬浮转子的轴向位移常常利用正对转子轴端面安装的电涡流传感器从转子轴向方向来检测。

SMT9700电涡流传感器产品简介：

SMT9700是一款专门为客户定制的OEM电涡流传感器产品，可测非导磁体和铁磁材料，有1、2或3通道可配电涡流探头。电涡流传感器材料、线性、分辨率、带宽各种性能可自行优化，埃米级分辨率，符合CE和RoHS标准，尺寸小巧，可配13种电涡流探头。

SMT9700电涡流传感器主要特点：

供电电压：15～30V，<50mA(有容错保护、短路保护)

工作温度：0～70oC(补偿范围15～55oC)

有1、2或3通道可配电涡流探头

埃米级分辨率

尺寸小巧

可配13种电涡流探头

符合CE和RoHS标准

输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)

SMT9700常用领域电涡流传感器应用领域：

原子显微镜垂直轴定位、光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的精确定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

更多详情咨询成都洪胜科技

成都洪胜科技有限公司

微信账号：洪胜咨讯

电涡流传感器工作原理：电涡流效应

    当接通传感器系统电源时，在前置器内会产生一个高频信号，该信号通过电缆送到探头的头部，在头部周围产生交变磁场H1。如果在磁场H1的范围没有金属导体接近，则发射到这一范围内的能量都会被释放；反之，如果有金属导体接近探头头部，则交变磁场H1将在导体的表面产生电涡流场，该电涡流场也会产生一个方向与H1相反的交变磁场H2。由于H2的反作用，就会改变探头头部线圈高频电流的幅度和相位，即改变了线圈的有效阻抗。这种变化与电涡流效应有关，也与静磁学效应有关（与金属导体的电导率、磁导率、几何形状、线圈几何参数、激励电流频率以及线圈到金属导体的距离参数有关）。假定金属导体是均质的，其性能是线形和各向同性的，则线圈——金属导体系统的磁导率u、电导率σ、尺寸因子r、线圈与金属导体距离δ线圈激励电流I和频率ω等参数来描述。因此线圈的阻抗可用函数Z=F（u，σ，r，δ，I，ω）来表示。  如果控制u，σ，r，I，ω恒定不变，那么阻抗Z就成为距离的单值函数，由麦克斯韦尔公式，可以求得此函数为一非线形函数，其曲线为“S”型曲线，在一定范围内可以近似为一线形函数。通过前置器电子线路的处理，将线圈阻抗Z的变化，即头部体线圈与金属导体的距离δ的变化转化成电压或电流的变化。输出信号的大小随探头到被测体表面之间的间距而变化，电涡流传感器就是根据这一原理实现对金属物体的位移、振动等参数的测量。