消息称台积电月底将接收首台高数值孔径极紫外光刻机 单价约3.8亿美元

　　根据外媒报道，台积电和三星电子从阿斯麦采购了大量的极紫外光刻机。
　　从报道来看，台积电月底从阿斯麦接收的首台高数值孔径极紫外光刻机，是TWINSCAN EXE:5000型号。阿斯麦高数值孔径极紫外光刻机的售价，每台价格为3.84亿美元。

　　从阿斯麦官网公布的消息显示，她们高数值孔径极紫外光刻机，命名为EXE系列，数值孔径将由0.33增至0.55，用于2nm及以下的制程工艺。