相较于一季度,ASML第二季度的销售额缓步上升,DUV在其中发挥了关键作用。ASML当前的DUV产能很难跟上市场的需求,DUV市场处于极度供不应求的状态。尤其是中国大陆产能扩充的需求,带动了对光刻机需求的增长。Peter Wennink表示,当前ASML的供货量难以满足中国大陆需求的一半。中国大陆现已超过美国,成为ASML第三大贸易出口对象。而在DUV光刻机的几种产品类型ArFi、ArF Dry、KrF中,波长更短、能支持更先进制程的ArFi在本季度的销售中所占比例最大,达到了47%。而DUV的市场需求仍将持续走高,Peter Wennink表示,预计2023年将推出超过375台的设备。
来源:中国电子报、电子信息产业网
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