七星华创8英寸多工位硅片清洗腐蚀机验收

      由北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司承担的电子信息产业发展基金重点招议标项目《8英寸多工位硅片清洗腐蚀机》，近日顺利通过了由信息产业部电子信息产业发展基金管理办公室组织的小组的验收。根据中国科学院微电子研究所出具的检测报告，该设备的腐蚀均匀度和颗粒度控制两项工艺指标基本满足使用需求，并已申报发明一项。设备采用了单片、单室、多工位的设计模式，在单片旋转清洗能力均匀算法、硬件结构、控制技术及软件编程方面也颇具特色。英寸多工位硅片清洗腐蚀机的研发成功，填补了我国单片清洗机的空白。