据Reed-electronics网站报道,半导体设备厂商Aviza Technology, Inc.日前宣布自成芯半导体制造公司——中芯国际(SMIC)与四川成都政府以代管模式合作成立的8寸晶圆厂——获得了Sigmafxp(R) PVD(物理气相沉积)系统订单。这是继去年第三季度中芯国际为其天津厂购置了SigmafxP系统之后Aviza Technology再次获得来自中芯的订单。
据悉,SigmafxP由于具备了良好的生产灵活性和较低的拥有成本,因而获得了中芯国际的信赖。SigmafxP系统能够在一个系统平台上满足不同工艺的需求,使得中芯国际可以运用该系统完成包括钨插塞下铝薄膜与线条的淀积以及无突起厚铝层淀积在内的多项工艺。
Aviza Technoloigy公司总裁兼CE
O Jerry Cutini表示,获得中芯国际这一中国市场上的重要客户的信赖是值得骄傲的,这也是Aviza拓展在中国的业务战略的重要一步;Aviza的系统能够为客户提供更高的吞吐量和较低的年度运行成本,这一点已被已安装设备运行一年以来不断提高的良率所证明。
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