MEMS压力传感器原理与结构

MEMS（Micro Electromechanical System，即微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电...

日期：2022-01-19

基于MEMS压力传感器的个人导航仪

压力传感器 是指将压力转换为电信号输出的传感器。压力传感器一般由弹性敏感元件和位...

日期：2011-09-04

分析MEMS压力传感器的原理设计与应用

MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合...

日期：2011-08-29

探究MEMS压力传感器及其应用

引言 MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美...

日期：2011-08-25

敏芯微电子推出MEMS压力传感器芯片

继推出硅基MEMS麦克风芯片后，苏州敏芯微电子技术有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS绝...

日期：2009-11-18

mems压力传感器

硅直接键合技术广泛应用于压力传感器和加速度计，是一种制备密封腔的重要的工艺手段。硅-硅直接键合技术制...

日期：2007-04-29