分辨率约 0.1% 的电容式位置传感器

出处:网络整理时间:2026-06-05

很难想象还有比电容式机电传感器结构更简易的产品,该传感器基本仅由两块极板构成(若被测物体具备导电性,甚至只需单块极板),极板之间以电介质(例如空气)隔开。传感器电容近似计算公式为:C=8.854pF?S/d,式中S代表极板面积,d代表极板间距(单位均为米)。电容值可精准反映极板间距的变化。

举一个合理实例:采用直径 38 毫米的圆形极板,极板初始间距 1 毫米,标称电容值计算为C=8.854pF×0.0382×π÷4÷0.001=10pF。当极板间距d为 3 毫米时电容降至 3.3 皮法,间距缩至 0.3 毫米时电容升至 33 皮法,通过简单换算即可由电容数值得出极板间距。但电容该如何测量?

为此我们需要一款接口电路。图 1 中的电路结构简洁,与电容式传感器本身的简易特性适配,仅由 8 种廉价的现成标准元器件搭建而成。下面介绍其工作原理。

图 1:U1a 与 U1b 交叉耦合构成施密特触发定时器,组成约 1 兆赫兹的 RC 多谐振荡器。在示例选用的传感器尺寸与元器件参数条件下,输出占空比=x=输出电压$/=\mathit{d}/(\mathit{d}+1\mathrm{毫米})\mathit{d}=\mathit{x}/(1-\mathit{x})$。U1a 与 U2a 构成 RC 定时电路,时间常数为R1Csense;U1b 与 U2b 搭配 U2b 组成另一路定时电路,时间常数对应R2Cref。按照图 1 方式交叉耦合后形成方波振荡器,U1 的 3 引脚输出约 1 兆赫兹的振荡波形:高电平持续时间,低电平持续时间,其中d的单位为毫米,定义同前文。

因此输出占空比

。由x=d/(d+1)做代数变形:x(d+1)=d,展开得xd+x=d,整理为x=d(1?x),终推导出d=x/(1?x)。图 2 展示了输出信号接入 12 位模数转换器(ADC)后,上述计算公式对应的实际效果。

图 2:本曲线为输出端接入以 5 伏为基准电压的 12 位模数转换器后,传感器的实测性能曲线。黑色曲线(左纵坐标)代表极板间距d,单位毫米;红色曲线(右纵坐标)代表模数转换器有效位(LSB)的分辨率,单位微米。可以看到在大部分量程区间内,分辨率接近量程的千分之一(d/1000)。电路工作细节说明:U1 内部各门电路集成在同一芯片上,具备天然的参数匹配与温漂跟随特性;若配套模数转换器采用 5 伏基准电压,即可实现占空比的高精度数字化采集。标注星号的元器件(R1、R2、参考电容Cref)需选用精密规格器件。布线与走线带来的寄生电容需要尽可能严格压低。若传感器极板存在触碰短路的风险,建议在 U2 前端串联一只电容做保护。选用 0.1 微法电容(与 C1、C2 同批次物料)即可,该电容容值远大于传感电容Csense,自身的精度与温漂特性不会对测量结果造成影响。参考电容Cref支路也可额外串联一只同规格电容,虽非必需,但能让电路设计在结构上更对称规整。


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