三坐标测量仪使用步骤主要包括以下方面：
工件图样分析：首先分析工件图纸，确定需要检测的项点、测量元素以及大致的先后顺序。明确零件的基准类型，如设计基准、工艺基准、检测基准，并确定用哪些元素作为基准来建立零件坐标系。依据测量的特征元素，确定零件在坐标台面安置方位，并使用合适的坐标夹具，保证装夹完成所有元素的测量。
测头校验：根据工件形状、尺寸选择合适的测头、测针，在测量软件中进行匹配，并进行校准，以达到测量所要求的精度。
建立坐标系：建立工件的坐标系，如果有工件的模型的话，也要建模型坐标系，然后把工件坐标系与模型坐标系拟合。建坐标系三要素是：确定一个基准平面，确定一个平面轴线（即X轴或者Y轴），确定一个点作为坐标原点。
工件测量：对工件进行分析，对工具的基本元素进行测量，如点、线、面、圆、圆柱、圆锥等。然后根据工件的形状，用基元素进行形状的公差分析。，根据要求输出检测。
在使用过程中，还需要注意以下事项：
未经培训的人员禁止操作：确保只有经过培训并取得操作资格的人员才能使用三坐标测量仪。
检查供气压力：每天开机前检查供气压力是否达到要求，如气源供压≥0.65Mpa，机器气压≥0.4Mpa。
放水与换滤芯：当三联体存水杯中油水混合物高度超过5mm时，需要手动放水。如果机器的供气压力正常，但三联体处压力不能调到正常值，那么需要更换滤芯。
环境要求：确保三坐标测量仪的使用环境满足温度20±2℃，相对湿度40~75%的要求。
电源要求：稳压电源的输出电压应为220±10V。
维护清洁：机器导轨内不得放置任何物品，不要用手直接接触导轨工作面。每天开机前用高织纱纯棉布沾清洁剂清洁三轴导轨面，待导轨面干燥后才能运行机器。注意，严禁用酒精清洁喷漆表面及光栅尺。
开机回零点：每次开机后应先回机器零点。在回零点前，先将测头移至安全位置，保证测头复位旋转和Z轴向上运动时无障碍。
此外，三坐标测量仪的安装和调试也非常重要，需要确保工件起吊平稳，安装前确保符合零件与测量机的等温要求，恒温条件下，提前四个小时以上放入被测工件。
