光学参数的确定

时间:2008-12-25

  (1)放大率

  若该投影系统用于比较测量,即将屏上的放大像与绘制的标准图像进行比较,此时投影-系统的放大率取决于标准图像的绘制∠及零件的允许测量误差5,即系统的放大率卩应为

  若投影系统用屏上的标志来瞄准工件后由移动工作台来进行测量,设人眼在屏上的瞄准为0,(以角秒为单位),这相当于物方的瞄准误差为r1,此值应小于或等于允许的仪器瞄淮误蒡σm,即

  式中,θE为眼在屏上的瞄准误差。

  为扩大仪器的使用范围,投影仪中常备有几种不同倍率的物镜,如10x、20x、50x及100x。高倍数用于测小工件,其较高;低倍率用于测大工件,较低。

  (2)数值孑1径

  通常投影物镜不用于分辨物体的细节,只用于瞄准,因此不需要很大的数值孔径,由式(4-68)可知数值孔径还决定了进入物镜的光能,因而影响屏上的照度,这是投影系统中一项重要指标。图1为简化的投影系统光路。

  进入聚光镜的光通量Φ为

  图1  投影系统光路

  式(4-80)计算的结果是指对视场中心部分直视的情况,对视场边缘部分及斜视时,照度与视场角余弦的四次方成比例。反射照明时,光能损失更大。

  利用拉赫不变量,式(4-80)可转换成

  式中,d、卩及焉分别为物镜的出瞳直径、放大率及焦距。

  从式(4-78)可以看出,像面照度与投影物镜的数值孔径(或相对孔径)平方成比例。在投影系统中满足影屏照度的数值孔径取值要比按分辨本领要求的值大得多。数值孔径增大后要提高像质是很困难的,而像质也是一个很重要的指标。根据式(4-58)往往选取

  在可变换倍率的投影系统中,为避免视场亮度随倍率变化引起观察不舒适,应使各物镜的数值孔径与其倍率相适应。例如对一组10X、20×、50X、100×的投影物镜,其数值孔径依次为0.02、0.04、0.10、0.20,则变换倍率后,视场亮度不变。

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