把握产业格局 注重技术服务

答：东电是半导体制造设备、液晶显示器制造设备供应商之一，TEL集团在日本、美国、欧洲、台湾、韩国、中国均建立了自己的网点。TEL可提供晶片处理过程中所使用的主要设备。 主要产品包括：涂布/显像设备、热处理成膜设备、干法刻蚀设备、CVD、PVD、湿法清洗设备及测试设备等。这些独创产品中的很多产品，在世界上占据的市场份额，如涂布/显像设备市场占有率位居，有80%市场占有率，扩散炉也分享了50%市场，居于首位，而后道测试设备探针台也拥有的市场占有率。我们的策略是专注于专研开发，做的好的领域一定要做到。

问：很多媒体及业内人士纷纷预测在经过 2002年缓慢复苏后2003年将实现真正的复苏，针对这种情况，请陈总谈谈当前半导体设备市场的发展趋势及东电应对措施。

答：谈半导体设备市场的发展不能不谈半导体市场的发展趋势，半导体市场已经历两年多持续的低迷，2002年有了缓慢增长，2003年应该是真正渡过困难的时期了。但到目前为止，从市场情况和上半年销售情况看，并没有有力的数据表明半导体市场的真正复苏，只是开始增长。而相对市场，中国半导体市场的发展一直保持强劲增长，与趋势比较呈逆向发展的趋势，市场并没看到明显增长。

从中国市场分析，中国是否能一直保持这样强劲的增长走势，是否能一直反趋势发展，是有待证明的，中国市场不可能长期与市场走势背离，这种现象只有在短期才有存在可能性，在中国也只是部分市场与市场的脱离。目前中国虽已加入WTO，但还没完全放开，没完全取消关税，这还需要一个大概五年的过渡期，这样虽然从某种程度保护国内市场，但这也必然导致中国市场与市场的不一致。中芯国际、华虹-NEC等Foundry 厂的定单主要靠国外， 中国的设计企业目前虽已近400多家，真正有规模的甚少，据统计这些企业总产能每月不足2000片，如果这些全部在国内用8″工艺流片，仍不足中芯一厂月产能的1/10，这就预示着国内Foundry厂仍需接国外定单才能保障充分的产能，也正因为如此他们的发展情况必然会和保持一致，也就是说中国半导体也不可能脱离市场太多。

从产品结构讲，现在整个半导体市场主流市场都在8″工艺生产，只有像美国、日本一直努力向先进的12″工艺发展，现在12″都在实验阶段，12″ 线能否快速量产，是否适合做Foundry，我有些置疑，再加之12″线的设备和原材料都很贵，投一条产能2万片的12″生产线要耗资26亿美元，它的巨额耗资比较适合DRAM的生产，只有满足大规模生产来降低成本。然而现在电子产品更新换代快，新产品层出不穷，对芯片的功能就要求更新更快，会以小规模生产为主，这样就要求芯片生产能跟上这个趋势，因为在生产过程中无论生产量的大小所用设备都一样，12″相应成本就会很大。正是由于成本的原因，很多设计公司是不会用12″工艺上流片的，他们只能通过改进设计努力满足8″线流片。也正因为这样12″不会来得太快。

综上所述，作为我们设备商，要紧跟市场发展脉搏，适应芯片小而快，更新换代快的趋势，新产品推出也要快。在开发推广12″新产品的同时，根据产品结构的发展，我们在继续拓展8″产品技术向纵深方向的延伸，不断更新我们的技术，不断推动产品，努力满足生产工艺的要求。

问：东电自1998年注册上海，已有很大发展，在这发展过程中对包括政策法规、产业环境及协会等组织的看法如何?

答：总的来说，各方面都比较满意。政府对高科技日益重视，大力发展高科技，相继推出了支持产业发展的政策。但由于政府相关部门对半导体产业还没有完全了解，很多政策还没完全符合这个产业的特点，不过我们一直很理解政府的难处，制定完全符合半导体产业发展政策等需要一个对产业完全了解的过程，在这个过程中需要我们双方不断的沟通、了解。我们也一直在和海关进行着沟通，希望能解决设备维修中零部件和培训中所使用的设备的进出口关税问题，希望能在短时间来完成对客户的服务。目前与海关的合作日显明朗，对渡过磨合期我们很有信心。

上海协会刚刚起步但已经做的很不错。组织了很多产业交流活动。协调企业与政府间的关系，帮我们联系海关组织讲课，对海关问题进行探讨，将我们没享受高科技企业待遇等问题及时反映给政府，引起了政府很大的关注，在这里要感谢协会所做的工作。

问：现在国内IC产业人才紧缺，东电公司在留住人才并且实现公司凝聚力方面有何良策?

答：TEL从建立以来一直奉行“尊重人才”的理念，致力于创建信誉优良的企业形象。在中国单靠利益的奖励是不能留住员工的，我们日本公司的传统是努力解决好员工的后顾之忧，使员工能在公司安心工作，我们不会因为市场的原因和公司财务的问题而裁人，但这并不代表我们公司不会裁人，只有员工为公司创造价值，我们就会保证员工的利益。

在收入方面，我们每年都会调查我们行业的员工薪资情况，努力保证员工有高收入。

在管理上，我们上海公司一直学习欧美的管理方式。在世界各分支机构东电公司都是实行人才本土化，减少沟通的障碍，努力减少员工间由于地域不同而引起的隔阂。

培训方面，对于新员工，我们都有一年的培训，其中有一、二个月的脱岗培训，工程师在分部简短培训后，还要到日本本部接受更培训。公司和员工共同安排一个符合员工职业发展的计划。努力使员工从各方面发展自我。

问：如何看待半导体设备与半导体工艺技术间的相互关系，是设备开发适应工艺技术还是工艺技术适应设备开发？

答：整个产业链是慢慢朝上朝下移动。这个产业刚开始是先开发一个符合某种需求的工艺，然后在和设备商一起合作开发满足这一工艺的设备。现在分工越来越细，大部分Foundry厂只注重提高工艺，开发工艺由设备供应商完成，以后还有个趋势，Foundry厂设备的平时维护也会由设备的供给商完成。所以我想我们设备商也可将设备的某些功能交给我们的供货商去完成，我们这个行业将有变成模块化的趋势，每个供应商完成自己的模块，再提供给设备商，由设备商将各模块整合，而不是制造设备的所有工作都由我们做。在这过程只要大家符合设备商的标准要求就可以。我们分工越来越细，也标志这个行业的成熟。这样设备的差别就会越来越小，设备制造业将进入一个微利时代，就会出现优胜劣汰的过程，这样作为设备供应商就只有靠降低成本、提高服务争夺市场。

问：半导体产业是技术主导市场，东电在研发方面都做了那些工作?

答：为了适应半导体的高速化、高集成化、高性能化的趋势我们一直积极开展研发工作。积极使用应对设计线宽0.13 mm以下的微细化、向300mm
大直径晶片的过度以及采用为实现高速化、低耗电的铜布线和低电容率的层间绝缘膜等新材料。

为了适应下一代半导体发展要求的技术革新，我们在聚集了半导体制造设备行业装备的工艺技术中心新楼内，积极开展工艺开发、过程演示以及基本技术开发等的基础研究工作。不仅如此，在这世界净化度的净化环境里，我们注重加强工艺一体化以及减少对地球环境危害的半导体制造等课题的攻关。