晶圆制备关键术语和概念

时间：2007-04-29

关键术语和概念

晶体籽晶
晶胞熔融物
多晶晶体生长
单晶直拉法
晶体定向区熔法
<100>晶面液体掩盖直拉法
<111>晶面晶圆参考面
点缺陷晶圆参考面代码
晶体位错化学机械抛光
原生缺陷背损伤
边缘倒角切片
滑移空位

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