芯片制造污染控制关键概念及术语

浮质 可移动的离子污染物
风淋 微粒
前厅 工艺用气体
细菌 湿法工艺化学品
洁净室洁净等级 服务室
洁净室设计 温度,湿度,烟雾
污染源 全面的洁净室规划策略
去离子水 隧道策略
洁净服要求 纵向层狀气流
高效微粒空气过滤器 (HEPA) 超低频工作站(VLF)
微米 小型环境
低温清洗 臭氧清洗
芯片清洗技术 芯片清洗用化学品