晶圆生产良率的制约因素

时间:2007-04-29
晶圆生产良率受到多方面的制约.下面列出了5个制约良率的基本因素,任何晶圆生产厂都会对他们进行严格的控制.5个基本因素的共同作用决定了一个工厂的综合良率.
1.
工艺制程步骤的数量

2.
晶圆破碎和弯曲
3.
工艺制程变异
4.
工艺制程缺陷
5.
光刻掩模板缺陷



  
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