美国科学家成功制造出波长255nm、功率0.57W以及波长250nm、功率0.16W的紫外发光
二极管(
LED)。该组件目前尚未封装,该研究小组希望藉由覆晶接合(flip-chip bonding)能将功率等级提高3到5倍。此波段的极深紫外光(ultradeep ultraviolet, UDUV)
光源未来可能取代水银灯泡,作为生物与化学
传感器的激发光源。
南卡罗来纳大学的Asif Khan等人生长出含铝量高达72﹪的高品质AlGaN层,并以它们做为
发光二极管结构中的批覆层(cladding),用来制造UDUV组件。研究人员采用蓝宝石做为LED基板,沉积的层是AlN缓冲层,接着是十层的AlN/AlGaN超晶格(superlattice),接着是厚度1.4微米的Al0.72Ga0.28N批覆层。
该小组表示,选用铝含量72﹪的AlGaN层是为了使材料在波长250nm时材料仍为透明,这一层是决定组件性能的关键。工作区(active region)包含3个量子井(quantum wells),改变铝含量可使发射波长在250至200nm之间做调整。
研究人员在脉冲偏压条件(pulsed biased conditions)下测试了波长为255nm的200平方微米的组件以及波长为250nm的150平方微米的组件,两者的尖峰输出功率对应的激发电流分别为200mA与300mA,射极(emitter)的外部量子效率(external quantum efficiencies)分别为0.015﹪及0.01﹪。