2019年4月，Diodes公司完成了对位于英国苏格兰Greenock的德州仪器150mm / 200mm晶圆厂（GFAB）的收购，这也是TI逐步摒弃落后产能策略的一部分。德州仪器目前在9个国家有15座晶圆厂，当然，这些厂房中包括即将关闭的落后产能，以及新建的300mm产能。

。据IC Insights统计，在过去的10年中(2009-2018年)，全11球半导体制造商总共关闭或重建了97座晶圆厂。具体如下图所示。其中，关闭了42座150mm晶圆厂和24座200mm晶圆厂，而关闭的300mm晶圆厂数量仅占关闭总数的10%。

AD1582ART-RL7

AD1385KD AD1403AN AD1403N AD1403N AD15/112 。

AD1021AARQZ AD1021AARQZ AD1021ARQ AD1021RQ AD1021RQ 。

AD1580BKSZ-REEL7 AD1580BRT AD1580BRT-R2 AD1580BRT-REEL7 AD1580BRT-REEL7 。

AD1380KD AD1380KD AD1380KD/JD AD1382KD AD1382KD AD1385JD 。

AD4075-2ARZ

AD1032AR AD1032AR AD1032AR AD1032AR AD1062KN 。

AD1582ART-RL AD1582ART-RL7 AD1582ARTZ AD1582ARTZ AD1582ARTZ-REEL7 。

AD1584ART-RELL7 AD1584ARTZ AD1584ARTZ AD1584ARTZ-R2 AD1584ARTZ-REEL7 。

AD1022A1RQ AD1022A1RQ AD1022A2RQ AD1022A2RQ AD1022ARQ 。

不过薄膜结构需要足够坚固以至于在后续工艺中不受影响。相比BAW-SMR，membrane type 较少一部分跟底下substrate接触，不好散热。

因为只是边缘部分跟底下substrate接触，这种结构在受到压力时相对脆弱，而且跟membrane type类似，散热问题同样需要关注。Airgap type在制作压电层之前沉积一个辅助层(sacrificial support layer)，较后再把辅助层去掉，在震荡结构下方形成air gap。

相关资讯