铠侠和西部数据正在研究300层3D NAND,采用MILC技术,形成14微米长的“类通心粉”硅通道

发布时间:2023/5/6 17:58:52


铠侠和西部数据除了研究8-Plane的3DNAND结构外,研究人员还将提交关于300层3DNAND的论文(T7-1),Highly Scalable Metal Induced Lateral Crystal lization(MILC) Techniques for Vertical silicon Channel in Ultra-High(300Layers)3D Flash Memory。

文中表示,为实现这一目标,两家公司计划采用金属诱导横向结晶(MILC)技术。通过MILC技术,在超过300层的垂直存储孔中,形成14微米长的类通心粉硅通道。

据报道,这种实验性3D NAND还利用cutting-edge 的吸镍方法消除硅材料中的杂质和缺陷,从而提高单元阵列性能。



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