供应4英寸高纯单晶硅抛光片

地区:浙江 衢州
认证:

丰成硅材料经营部

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             产品参数  

产品尺寸

        4英寸单面抛光硅片 

生长方式

         直拉单晶(CZ)                                                          

直径和公差mm

        100.2±0.3mm

型号/掺杂类型

        N型(掺磷、砷、锑)    P型(掺硼)

晶向

        <111>\<100>\<110>

电阻率

        0.001-50(Ω·cm)              可按照客户要求*不同电阻率范围

平整度TIR

        <3μm 

*

       可提供*         

 翘曲度TTV

        <10μm

 弯曲的BOW

        <10μm

粗糙度Ra

        <0.5nm 

颗粒度 pewaferr

        < 10 (for size > 0.3μm )
型号/规格

4英寸

品牌/商标

丰成