供应半自动GAN/GaAs外延片清洗机

地区:北京 北京市
认证:

北京华林嘉业科技有限公司

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半自动GAN/GaAs外延片清洗机 
※  控制模式:  手动控制模式   自动控制模式。
※ 清洗规格:2 inch ,4 c*ette/Batch, 25 Pcs/c*ette;   4 inch,2 c*ette/ Batch,25 Pcs/c*ette;
※  工艺说明:手动方式实现放件,取件,槽体间传送件。
※  设备形式: 室内放置型。
※  腐蚀工艺自动补药液*了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
※  工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;
※  机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域。
※  药液供给及补液方式: 分体式CDS自动供液系统
※  DI槽配有在线式水质检测装置;
※  配有分体式废液回收系统;
※  强排风风通道:¢200mm×1;排风量:1500m3/h×2
设备名称

半自动GAN/GaAs外延片清洗机

型号/规格

CGB

品牌/商标

CGB

原产地