扩散炉
扩散炉主要是完成半导体元器件的扩散，可作元器件的烧结、退火、等工艺，具有应用范围广、**、控制精度高等特点。
2.设备名称 双管扩撒炉
3.型号 L4611II-Z/RZQ
4.规格 石英玻璃（单）管*直径Φ150×2400mm，
管壁厚度5-6 mm。
5.主要配制：
5.1主机部分
5.2温度控制部分（PID）
5.3气路部分
5.4氧化室
5.5功率部分
5.6移动工作台
6.主要技术指标
6.1*高温度 1280℃
6.2使用温度 300℃～1200℃
6.3恒温*度 大于等于600mm
6.4单点控温精度 ±0.5℃/24h
6.5升温功率 20kw
6.6保温功率 10kw
6.7氮气流量 大 0～20L/min（可调）
小（通过洗气瓶，容量500～1000ml） 0～1L/min
太阳能电池片扩散炉
太阳能电池片扩散炉具有四套*的工艺炉管。供太阳能电池片生产线上156mm×156mm方片扩散、氧化、退火等工艺使用。
主要特点： 1.关键件*采用*件，具有高*性。 2. 采用*智能控制器，可输出四个开关量，对炉温、阀门动作 进行自动控制，并管理*工艺时序，可编辑存贮十条工艺曲 线。具有高*干扰能力。 3. 具有多种工艺管路，可供用户随意灵活配置。 4. 具有断电报警、*温报警、*限*温报警等多种*保护功能。 5. 控温精度好，温区控温稳定性好。 6. 新型炉体设计结构，*工艺过程中温区温度的快速稳定，更 适合于连续性大规模生产。 7.闭管式扩散系统更洁净、更*。
太阳能电池片扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式
1闭管磷扩散，带有工艺废气冷却定向回收装置，偏磷酸、CL2分开收集处理；工艺废气集中收集从尾部定向排出；各种工艺气体可分开送入石英管内，工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管软着陆扩散方式工艺过程*不受外界环境干扰，工艺质量*受保护。
2自动化程度：自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用国外*，可在*±0.25℃的控制精度。
3送取片方式：悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构，可*的*偏磷酸下滴，造成推拉机构受腐蚀，影响推拉机构的*性。
太阳能电池片扩散炉主要技术参数
序号 技术参数
1 工作温度： 300~1300℃
2 *口径 根据用户扩散片确定，可*
3 恒温*度： 1080mm（可根据用户要求*）
4 温区精度 (静态闭管测试)：600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃ 300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃
5 单点温度稳定性(静态闭管测试)： 600℃＜工作温度＜1200℃：±0.5℃/24h 300℃≤工作温度≤600℃： ±1℃/24h
6 温度斜变能力：*大可控升温速度(300～1300℃)：15℃/min。*大降温速度(1300～900℃)： 5℃/min
7 气体流量设定精度： ±2％FS
8 气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
9 自动送料装置行程：~2000m。速度：5~1000mm/min SiC浆承重 19kg
10 装片数量 400片/管
11 净化台洁净度 100级（10000级厂房）
12 三相五线制 380V±10%，50Hz±10%Hz；
13 冷却水： 2～4Kgf/cm2，～8L/min
