供应F6000 系列皮拉尼真空传感器

依据“气体热导系数与低真空范围压力成正比”的原理，炜盛真空传感器测量加热元件上由于传热到周围的气体而导致的细微的电阻变化。

该加热元件（即测量电阻）是由一个置于一张隔热膜上的铂薄膜电阻构成。隔热膜悬覆在一个微*的25祄深空腔上，空腔底部表面与隔热膜平行，以*精密测量传热率。由于被测气体体积*小（即空腔容积小），炜盛传感器能够提供*的功耗和快速的响应时间。

炜盛真空传感器还提供了一个与测量电阻具有相同电阻温度系数（TCR）的基准

电阻，布置在传感器芯片基板上。传感器电路可用它来进行环境温度补偿。

由于具有*性高，成本低，使用简便和*功耗的逐项优点，采用MEMS工艺*的，微型化的皮拉尼技术正在成为一个行业标准。炜盛    的 F6000 系列MEMS皮拉尼真空传感器可以帮助客户充分利用这一趋势，以*其现有的产品和开发新的产品。 

技术特点：

*功耗<5毫瓦

快速响应时间<5毫秒

耐冲击至1000g

可测量气体体积至0.1 cm3

低噪声

高分辨率

同一芯片上进行温度传感

长期稳定

可用溶剂浸泡清洗，延长使用寿命

实际应用：

    分析仪器

    使用前级真空的封闭系统的检漏

    半导体设备

    真*装机

    便携式数字真空计

    小型机械系统（如泵）以*规定的真空度

    *真空开关来验证1托以下的真空度

*对*大指标：

    工作温度：-40 C至125C（可提供更高温度型号）

    湿度：0到100％RH，非冷凝

    耐冲击性：1000g

    *压：27.5 Bar