美国MicroSense微位移传感器

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MicroSense电容式微位移传感器

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MicroSense有限责任公司成立于1967年,原隶属于KLA-Tencor公司。以其*分辨率、非接触式的空间尺寸测量技术闻名*。MicroSense提供传感器和*计量模块,在其*的电容式感应技术基础上,进行*精度,高带宽的精密测量应用,如太阳能硅片(厚度测量),硬盘驱动电机(主轴跳动误差分析),气浮主轴(主轴跳动误差分析),精密XY工作台(位移量测试及*定位),光盘(厚度、平坦度测量),汽车*部件及机床(直线度、平坦度及*定位),伺服反馈系统(如钻石切割、压电式切割机)。我们的电容式位移传感器提供了在同行业中*高的分辨率(小于0.05纳米),具有出色的稳定性和几乎无限的使用寿命。

      

产品参数:

MicroSense旗下共有4800580068008800系列产品。探头主要分为被动式和主动式两种型号。探头型号的选择需要综合考虑被测物体尺寸、运动速度等因素。

被动式探头具有高线性度、高稳定性、高分辨率的特点,带宽支持:10Hz100Hz1KHz10KHz、*高支持20KHz带宽,线性度为满量程的0.02% - 0.1%,量程范围从+/- 5um - +/-2mm,稳定性:一般*200ppm/oC,分辨率为纳米或亚纳米级别,输出电压:+/- 10V

主动式探头具有高带宽、高动态、高分辨率、高信噪比的优良性能,带宽支持:1KHz5KHz20KHz100KHz,线性度为满量程的0.1% - 0.5%,量程范围从+/- 25um - +/- 1mm.稳定性:一般*200ppm/oC,分辨率为纳米或亚纳米级别,输出电压:+/- 10V

主要应用于马达转子测量、驱动电机测试等*运转的应用。

以下列举部分探头参数:

典型分辨率(RMS, nm)

 

探头ø

范围

带宽

分辨率

(mm)

±μm

(kHz)

(nm rms)

10

500

1

5

5

250

1

6

3

100

1

1.8

3

50

1

0.6

1

250

100

25

0.5

50

100

5

  

产品性能优势:

    高分辨率,*高可达亚纳米级分辨率;

    没有迟滞;

    高带宽,*高可支持100KHz带宽;

    小探头尺寸,探头尺寸及长度可根据客户实际应用设计;

    精度高;

应用领域:

1.    距离测试、机床和精密机台的直线度和平面度测量

2.    机床主轴,空气轴承主轴,轴承和精密电机径向和轴向跳动测试

3.    硅片等厚度测试 

4.    定位系统应用:

5.    自动对焦控制系

6.    伺服反馈系统

 

现有客户群体:

清华大学、南开大学、天津大学、德国Bruker、荷兰ASML、美国西部数据(Western Di*al Corp)、美国Federal Mogul、美国FEI、韩国三星集团、日本 Canon、日本Nicon、日本NUFLARE、日本YASKAWA等*知名企业及院所。

如任何疑问欢迎你*和我们联系,查看设备的介绍。