脉冲磁控溅射电源
地区：广东 深圳
认证：
无
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产品属性
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– 用途：
可适用于PVD、CVD技术以金属、半导体靶材制备高密度、高硬度、高亮度、高透明度的单质、化合物膜层。
– 特点：
主要技术项目：
型号T*e 项目Item | PL10kw | PL20kw | PL30kw | PL40kw |
输入电源电压频率（V、Hz）三相四线 | AC380 N 15%,50/60 | AC380 N 15%,50/60 | AC380 N 15%,50/60 | AC380 N 15%,50/60 |
占控比（%） | 10~90 | 10~90 | 10~90 | 10~90 |
输出电流调节范围（A） | 0～15 | 0～30 | 0～45 | 0～60 |
稳流精度 | 1% | 1% | 1% | 1% |
额定输出电压（DCV） | 200～1000 | 200～1000 | 200～1000 | 200～1000 |
负载持续率（%） | 85 | 85 | 85 | 85 |
重量（KG） | 25 | 35 | 40 | 70 |
外形尺寸（mm） | 650(D)×480(W)×250(H) | 860(D)×600(W)×600(H) | ||
*缘等级 | B | B | B | B |
效率（%） | 90 | 90 | 90 | 90 |
功率因数COSΦ | 0.93 | 0.93 | 0.93 | 0.93 |
外壳*护等级 | Ip21 | Ip21 | Ip21 | Ip21 |
工作模式 | 恒压、恒流、恒功率可任意选择，常规恒流输出 | |||
外部接口 | 本系列产品，均可设微机式PLC控制 | |||
否
普莱德
PLD
20（A）
380（V）
1000（V）
20000（W）
55（HZ）
ISO90001
