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产品属性
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一、 产品用途
本机主要适用8英寸以下硅片双面精密研磨加工,同时适用于光学玻璃,石英晶片,宝石片,铌酸锂,陶瓷片及其他硬脆材料的双面研磨加工或抛光。
二、 产品优点
1. *变频器配合变频电机拖动,实现了软启动,软停止,调速稳定,冲击小。
2. 采用二电机同步拖动,可选择游星轮的变速范围更广,能适应不同的研磨材料及研磨工艺的要求。
3. 单独电机抬升内齿圈,并在总行程范围内随意停留自锁,满足了取放工件及调整游星轮啮合位置的要求。太阳轮高度调节*调节太阳轮座上的三组不锈钢片的厚度,十分方便。
4. 齿圈座和下磨盘座,采用了国内*的*腐技术,进行了*腐处理,大大*了使用寿命。
5. 采用PLC控制,压力采用电—气比例阀与拉力传感器实现了闭环反馈控制,压力过程实现了线形转换。主气缸采用精密无摩擦力气缸,整个控制系统经精密调节,实现上磨盘*小总压力稳定在50Kg。这样大大*了薄形工件的加工精度及合格率。
6. 应用人机界面(PT)显示与PLC控制,一方面显示运行参数,另一方面通过其他触摸键调整设定各项参数,主操作由普通键钮完成。
7. 采用自动润滑装置,用户可根据自己的使用情况,设定自动润滑时间,机器的各相对运动表面,齿轮啮合部位得到充分润滑,大大*了整机的使用寿命。
8. 研磨机配置了*的测厚装置,工件加工的动态情况通过(PT)显示器*可见。
9. 抛光机配置*抛光液存储器,可根据用户的加工工艺要求,调节抛光液的温度。
三、 主要技术参数
1. 上磨盘尺寸:Φ1355mm×Φ458mm×50mm
2. 下磨盘尺寸:Φ1355mm×Φ458mm×50mm
3. 磨盘转速:0~60rpm
4. *轮参数:公制m=3,Z=170,α=20°
5. *轮数量:5个
6. *小研磨厚度:0.5/Φ200mm,0.4/Φ150mm
7. *大研磨厚度:30mm
8. *大研磨直径:Φ410mm
9. 主电机:18KW 4级 AC380V
10.太阳轮电机:1.5KW 4级 AC380V
11.内齿圈升降电机:1.5KW 4级 AC380V
12.气源:0.5~0.7Mpa
13.外型尺寸:2600×1850×3000mm
14.机器重量:~7000Kg
15.沙泵电机:0.4KW AC380V
16.设备表面颜色:白色
四、 主机精度
1. 下研磨盘端面跳动:<0.08mm
2. 研磨盘平面度:<0.02mm(修正轮修研后)
3. 太阳轮径向跳动:<0.10mm
4. 内齿圈径向跳动:<0.18mm
五、 加工精度(修正轮修研后)
1. 一致性:≤0.008mm
2. 平面度:≤0.005mm
3. 平行度:≤0.006mm
六、 加工能力
1. 单片承片量:6片/Φ150 2片/Φ200
2. 整盘承片量:30片/Φ150 10片/Φ200
七、 设备关键部件选用要求
1. 气动元件:日本SMC
2. 主减速机:浙江杭州
3. 主要轴承:日本NSK
4. 变频器:德国西门子
5. 可编程控制器(PLC):德国西门子
6. 可编程人机界面(PT):德国西门子
7. 拉力传感器:上海
8. 电器开关、按钮:德国西门子
"18kw(W)
1355(mm)
7100(kg)
20B
无*变速
60(r/min)
硅片、石英晶片、 SMD 表面贴装晶体、光学水晶、铌酸锂、玻璃、陶瓷片等薄脆金属或非金属材料的双面研磨或抛光
迪柯玛精工机械
380V
属性值
60(r/min)