CYG500系列微型、薄型动态压力传感器
一、CYG502型*微型压力传感器(*压)
标称尺寸外径2mm的*微型压力传感器CYG502是专为流体力学实验中要求更小安装尺寸的用途而设计的。是目前我公司推出产品中尺寸*小的压力传感器。
CYG502的压力敏感元件采用当代**的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技术设计与制造。三维集成、双面*的硅压阻压力敏感元件具有*的线性精度。离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。采用硅硅直接键合技术、倒V型槽设计、从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的*佳化，为*微型传感器的实现取得关键*。
使用了硅–硅键合技术，*了热匹配效果，减少了应力带来的*位不稳定性。
目前已面市品种有*压型测量模式产品，表压型正在研制中。
CYG502A*压型*微型压力传感器为探针形，标准外径为Ф2.15mm，传感器的可选量程为50、100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa*对压力。
CYG502A*压传感器用敏感元件正面承压。因此，它*适用于介质为无腐蚀性，不导电性的干燥气体。它有着相当宽的工作温区，可达-55℃～+120℃，也有着**的高频动态特性，其量程的敏感元件的固有频率＞200KHz，上升时间为亚微秒。
性能指标参数
指标
档级 非线性精度
±%FS 迟滞重复性
%FS *位温度系数
×10-4 FS /℃ 灵敏度温度系数
×10-4 FS /℃ *位时漂
＜mv/8h
JA 0.5 0.1 5 5 0.2
* 0.2 0.1 2 2 0.1
满量程输出 *小值30mv 典型值80mv *大值130mv
输入输出阻* *小值3 KΩ 典型值5 KΩ *大值7 KΩ
输入工作电流 1mA 、1.2mA（恒流源）
工作温度范围 -55℃～+120℃
补偿温度范围 -10℃～+80℃
过载能力 额定量程的200%
加速度灵敏度 ＜0.001%FS/g
外形尺寸图 直径：2.15mm，长度：18mm、11mm、7mm可选
CYG502AL
CYG502系列产品的标准产品引出微型电缆（Φ1.8mm五芯屏蔽电缆）长度为1m，在1m的末端有为传感器信号调理与补偿设计的小型平衡管。为方便用户，传感器也可以按用户商定的恒压源供电，此时厂方将平衡管适度*，装入转换恒流源。（收费服务）
CYG502系列产品为方便不具有，或不愿意自己现场实验与自制放大器的客户提供配套服务，提供标准输出的CYG1502传感器，信号放大调理部份分体装在一个与电缆相连的仪表小盒内，它可以提供0～5V的输出（响应频带0～20KHz）或4～20mA的输出（响应频带0～1KHz）、方便用户与采集接口。
二、CYG503型、504型微型压力传感器（*压、表压）
标称尺寸外径3mm的微型压力传感器CYG503是专为空气动力学研究试验中，要求安装尺寸小，不扰动流场，动态响应优良动态压力分布测量而设计的。应用于如发动机进气道压力畸变、喘振等的空气动力学性能测定。
CYG503的压力敏感元件采用当代**的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技术设计与制造。三维集成、双面*的硅压阻压力敏感元件具有*的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械*，精密各向异性腐蚀形成的硅薄膜力敏结构使其具有很高的压力灵敏度和小至1.5mm以下的径向尺度。*的微型化的压力敏感芯片采用无应力封装技术，密封封装在*的微型安装基座和不锈钢毛细管中。*压型传感器参考压力腔是芯片背面密封的真空腔，表压型传感器的参考压力腔是通过一根更细的不锈钢毛细管从背面引出与大气沟通。也为了方便用户为取得稳定的压力参考而用细尼龙管将它引至气压稳定处。
CYG503A*压型微型压力传感器为探针形，标准外径为Ф3.5mm(*小外径可*Ф3mm)，长度为18mm，*的短柱形CYG503AS将长度缩短为12mm。*压型压力传感器的可选量程为50、100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa*对压力。
CYG503G表压型微型压力传感器为探针形、标准外径为Ф3.5mm，长度为18mm，背压引出毛细管长为12mm。表压型压力传感器的可选量程为25、50、100、150、200、400、600、1000、1600、2500 KPa表压力。
CYG503的设计制作*已获得*发明*授权、*号为：2.3。
CYG504微型螺栓安装型压力传感器是为方便一些用户使用要求的CYG503的衍生品种，*压、表压均可。它的外形尺寸见附图。
CYG504G微型微压压力传感器为探针形，标准外径为Ф4mm，长度为18mm，*的短柱形CYG504GS将长度缩短为12mm。表压传感器可选量程为10、20、40 KPa相对压力。
CYG504A微型真空度压力传感器为探针形，标准外径为Ф4mm，长度为18mm，*的短柱形CYG504AS将长度缩短为12mm。真空度压力传感器可选量程为10、20、40 KPa*对压力。
CYG503、504型传感器由于用敏感元件正面承压，因此，它*适用于介质为无腐蚀性，不导电性的干燥气体。但它有相当宽的工作温区和*好的动态频响。可使用的动态频响**频、高至数十千赫兹。表面增加涂复保护可*介质适用能力，但以*频响特性为代价。
性能指标参数
指标
档级 非线性精度
±%FS 迟滞重复性
%FS *位温度系数
×10-4 FS /℃ 灵敏度温度系数
×10 -4FS/℃ *位时漂
＜mv/8h
JA 0.5 0.1 5 5 0.2
* 0.2 0.1 2 2 0.1
满量程输出 *小值30mv 典型值80mv *大值130mv
输入输出阻* *小值3 KΩ 典型值5 KΩ *大值7 KΩ
输入工作电流 1.5mA（表压型）1mA（*压型）（恒流源）
工作温度范围 -55℃～+120℃
补偿温度范围 -10℃～+80℃
过载能力 额定量程的200%
加速度灵敏度 ＜0.001%FS/g
外形尺寸图
CYG503A CYG503AS
CYG503G CYG504
CYG503系列产品的标准产品引出微型电缆长度为1m，在1m的末端有为传感器信号调理与补偿设计的小型平衡管。为方便用户，传感器也可以按用户商定的恒压源供电，此时厂方将平衡管适度*，装入转换恒流源。（收费服务）
CYG503系列产品为方便不具有或不愿意自己现场实验与自制放大器的客户提供配套服务，提供标准输出的CYG1503传感器，信号放大调理部份分体装在一个与电缆相连的仪表小盒内，它可以提供0～5V的输出（响应频带0～20KHz）或4～20mA的输出（响应频带0～1KHz）、方便用户与采集接口。
三、CYG505型、506型微型压力传感器（*压、表压）
标称尺寸外径Φ5mm的微型表压力传感器CYG505及其衍生的螺纹安装型品种CYG506是专为水流动力学研究。缩模实验要求的外形尺寸小，对流场扰动小，量程低、灵敏度高，动态频响好而专门设计的微型低量程脉动压力传感器。
CYG505的压力敏感元件采用当代**的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技术设计与制造、三维集成、双面*的硅压阻压力敏感元件具有*的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移。用CAD辅助的有限元分析基础上的*佳力学构件设计、版图布局设计、加上精密的各向异性腐蚀，解决了低量程下线性度和输出灵敏度的矛盾。小至2mm径向尺度的微型芯片，具有低达20KPa的量程和*的线性度，满足了水工缩模测量的精度与灵敏度要求。
CYG505采用了敏感元件背面承压的工作模式，因此它可以用于导电性的水及其它液体介质。有*腐蚀性或溶渗性的介质订货时请与厂家协商。
为了*使用安装处偶然浸水造成表压传感器的失效，CYG505在尾端出线处采用了PVC导管作为通气及*水保护，微型电缆从PVC管中孔内引出。由于工艺难度，PVC管的*大长度限制为7m。
CYG505为表压模式，标准压力量程为15、25、40、60、100、160、250、400、600、1000KPa。为方便水工用户，也可以按mH2O为单位订货量程为2、3、5、10、20、50、100。
CYG505A*压模式，标准压力量程为50、100、150、300、400、800、1200、2400KPa
CYG505的设计及制作*已获得*发明*授权，并获得2007年度中国**发明**奖，*号为：ZL2.8。
CYG505传感器的低量程产品的固有频率达60KHz~138KHz，为激波管试验验证。它具有0～20KHz的使用带宽，上升时间小于1us，满足水工测量的动态要求。
CYG506微型螺栓安装型压力传感器是为了方便一些用户使用要求的CYG505的衍生品种，它的外形尺寸见附图。
性能指标参数
指标
档级 非线性精度
%FS 迟滞重复性
%FS *位温度系数
×10-4/℃.FS 灵敏度温度系数
×10-4/℃.FS *位时漂
＜mv/8h
JA 0.5 0.1 5 5 0.2
* 0.2 0.1 2 2 0.1
满量程输出 *小值20mv 典型值60mv *大值100mv
输入输出阻* *小值3 KΩ 典型值5 KΩ *大值7 KΩ
输入工作电流 1.5mA（恒流源）
工作温度范围 -20℃～+80℃（可应要求扩宽）
补偿温度范围 0℃～+50℃（可应要求扩宽）
过载能力 额定量程的200%(表压型*大至1.2MPa)
加速度灵敏度 ＜0.002%FS/g
外形尺寸图(也可*设计*)
CYG505 CYG506
CYG505系列产品的标准产品引出微型电缆长度为5m，在5m的末端有为传感器信号调理与补偿设计的小型平衡管。为方便用户，传感器也可以按用户商定的恒压源供电，此时厂方将平衡管适度*，装入转换恒流源。（收费服务）*过5m也可以（按长度收费），但*水保护的PVC管*长只能套7m。
CYG505系列产品为方便不具有，或不愿意自己现场实验与自制放大器的客户提供配套服务，提供标准输出的CYG1505传感器，信号放大调理部份分体装在一个与电缆相连的仪表小盒内，它可以提供0～5V的输出（响应频带0～20KHz）或4～20mA的输出（响应频带0～1KHz）、方便用户与采集接口。
四、CYG507型微型微压传感器（表压）
标称尺寸外径8mm的微型微压传感器是专为空气动力学研究流场分布设计的，它*适用于模型尺寸较厚或模型中空的实验工况。传统的用毛细管引出压力用扫描阀巡测的方式，因毛细管频响的损失而测得的为稳态流场分布。现场直接布置微型传感器的方法可获得*的动态流场分布。
CYG507的压力敏感元件采用当代**的MEMS技术设计与制造。采用CAD技术的力敏结构与版图设计优化了力学模型、双岛膜结构（低微压）和梁膜岛复合结构（*微压）使得压力敏感元件实现了低量程、高灵敏度和优良线性度的统一兼得，应力互补设计和无应力微封装技术实现了量程下的良好稳定性。
CYG507为表差压型，有探针型和螺纹安装式两种外形。探针型产品量程2.5KPa以上的外径为Φ6mm，2.5KPa以下的量程的外径为Φ8mm，长度均为18mm，螺纹型的螺纹为M10×1。外形见附图。
CYG507采用敏感元件反面承压，因此它有优良的介质兼容性。CYG507采用准齐平无管腔的封装设计，因此有优良的动态特性，可用频率即使是量程500Pa的品种可达数千赫兹以上。
CYG507的可选量程为1、1.6、2.5、5、10KPa。
性能指标参数
指标
档级 非线性精度
±%FS 迟滞重复性
%FS *位温度系数
×10-4 FS /℃ 灵敏度温度系数
×10-4 FS /℃ *位时漂
＜mv/8h
JA 0.5 0.2 5 5 0.3
* 0.2 0.2 3 3 0.2
满量程输出 *小值20mv 典型值60mv *大值100mv
输入输出阻* *小值2 KΩ 典型值5 KΩ *大值8KΩ
输入工作电流 2mA或1.5mA
工作温度范围 -40℃～+105℃
补偿温度范围 -10℃～+60℃
过载能力 额定量程的300%
外形尺寸图
CYG507探针型 CYG507螺纹安装式
CYG507系列产品的标准产品引出微型电缆长度为1m，在1m的末端有为传感器信号调理与补偿设计的小型平衡管。为方便用户，传感器也可以按用户商定的恒压源供电，此时厂方将平衡管适度*，装入转换恒流源。（收费服务）
CYG507系列产品为方便不具有，或不愿意自己现场实验与自制放大器的客户提供配套服务，提供标准输出的CYG1507传感器，信号放大调理部份分体装在一个与电缆相连的仪表小盒内，它可以提供0～5V的输出（响应频带0～20KHz）或4～20mA的输出（响应频带0～1KHz）、方便用户与采集接口。
五、CYG508型微型高压传感器（表压）
标称尺寸外径Φ8mm的园柱形微型高压传感器CYG508原是为创伤*，埋植测量高频动态高压设计的，是高频动态压力传感器CYG401的微型化封装产品。也可用于小容积体内爆燃高压、石油勘采压裂测井等要求小尺寸安装的动态高压测试用途。
CYG508的压力敏感元件采用当代**的MEMS技术设计与制造，采用了背面齐平承压、无管腔封装等一系列已获得授权的*技术。因而具有*数百千赫兹的固有频率，快至亚微妙的上升时间，*了高频动态压力测试的要求。小的封装外形尺寸满足了*环境条件的要求。
CYG508微型高压传感器为表压（2MPa以下时）或密封表压（2MPa以上时）模式，其外形有标准的小园柱形及衍生的螺纹安装型（标准螺纹为M10*1与M12*1），详见外形图。（2.5MPa以下量程外径Φ10mm）
CYG508的标准量程为1、1.6、2.5、4、6、10、16、25、40、60MPa，其余量程需协商特订。
CYG508适用于对硅、玻璃、不锈钢，环氧树脂胶相兼容的任何气、液体介质。
固有频率及上升时间： 可用带宽：0～1/3固有频率
量 程 MPa 1 2 4 6 10 20 40 60
固有频率 kHz 50 320 450 600 800
上升时间 μs 1 1 0.5 0.5 0.5 0.3 0.3 0.2
性能指标参数
指标
档级 非线性精度
%FS 迟滞重复性
%FS *位温度系数
×10-4 FS /℃ 灵敏度温度系数
×10-4 FS /℃ *位时漂
＜mv/8h
JA 0.5（1*） 0.1（0.3*） 5 5 0.2
* 0.2（0.5*） 0.1（0.2*） 2 2 0.1
注：*为部分40MPa以上量程参数
非线性 ±0.2％～±1％
满量程输出 *小值30mv 典型值80mv *大值130mv
输入输出阻* *小值3 KΩ 典型值5 KΩ *大值7 KΩ
输入工作电流 1.5mA（恒流源）
工作温度范围 -40℃～+125℃（*措施下可耐2000℃/20ms瞬态高温）
补偿温度范围 -10℃～+60℃(其它温度段可选)
过载能力 额定量程的200%
加速度灵敏度 ＜0.0005%FS/g
外形尺寸图（建议选用大量程时安装螺纹需相应*以**）
CYG508圆柱形 CYG508螺纹安装型
CYG508系列产品的标准产品引出微型电缆长度为1m，在1m的末端有为传感器信号调理与补偿设计的小型平衡管。为方便用户，传感器也可以按用户商定的恒压源供电，此时厂方将平衡管适度*，装入转换恒流源。（收费服务）
CYG508系列产品为方便不具有，或不愿意自己现场实验与自制放大器的客户提供配套服务，提供标准输出的CYG1508传感器，信号放大调理部份分体装在一个与电缆相连的仪表小盒内，它可以提供0～5V的输出（响应频带0～20KHz、响应频带0～100KHz或响应频带0～200KHz）或4～20mA的输出（响应频带0～1KHz）、方便用户与采集接口。
六、CYG511型薄形压力传感器（*压）
CYG511型薄形压力传感器是专为空气动力学研究中，风洞中试验模型表面压力场分布设计的。它尤其适用于模型很薄，无法用打孔安装微型探针型传感器的应用工况。将*薄的CYG511传感器直接贴装或挖浅坑埋下平贴齐模型表面安装。CYG511的*薄的*柔性引线可直接贴在模型表面上。因此它基本上不影响被测流场。
CYG511的压力敏感元件采用当代**的MEMS技术设计与制造。三维集成、双面*的硅压阻压力敏感元件具有*的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械*，精密各向异性腐蚀及硅硅直接键合技术使得硅薄膜力敏结构具有很高灵敏度，很优良稳定性，很优良动态性能的同时具有*的厚度。它综合力敏结构与衬底*结构的总厚度*为0.6mm，更有利于获得更薄*终尺寸的薄形传感器。
CYG511为*压测量模式，它的标准量程在100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa可选订。
CYG511外形为薄园扣式。标称直径为ф8 mm，厚度为2.2 mm，引出线为5线柔性电线，长度为1m，在1m终点处接有用PCB板制成的电桥补偿平衡器，柔性电线的厚度为0.15 mm，宽度为4 mm。
CYG511由于用敏感元件正面承压，因此它适用于*无腐蚀性，不导电性的干燥气体。它有相当宽的工作温区和*优良的动态频响特性，可使用在**频，高至数千赫兹频带。如果介质因素复杂，含水量高，可使用复盖有*硅凝胶保护表面及电*的CYG511S，*硅凝胶会有些降低其动态频响性能。
采用薄膜*材料覆盖保护的产品CYG511P，由于保护膜厚度为um量级，因此对动态频响损失较少，但*周期较长及有较多的成本增加。
性能指标参数
指标
档级 非线性精度
%FS 迟滞重复性
%FS *位温度系数
×10-4 FS /℃ 灵敏度温度系数
×10-4 FS /℃ *位时漂
＜mv/8h
JA 0.5 0.2 5 5 0.2
* 0.2 0.1 2 2 0.1
满量程输出 *小值30mv 典型值80mv *大值130mv
输入输出阻* *小值3 KΩ 典型值5 KΩ *大值7 KΩ
输入工作电流 1mA（恒流源）
工作温度范围 -55℃～+120℃
补偿温度范围 -10℃～+80℃
过载能力 额定量程的200%
加速度灵敏度 ＜0.001%FS/g
外形尺寸图
CYG511
CYG511系列产品的标准产品引出柔性导线长度为1m，在1m的末端有为传感器信号调理与补偿设计的小型平衡管。为方便用户，传感器也可以按用户商定的恒压源供电，此时厂方将平衡管适度*，装入转换恒流源。（收费服务）
CYG511系列产品为方便不具有，或不愿意自己现场实验与自制放大器的客户提供配套服务，提供标准输出的CYG1511传感器，信号放大调理部份分体装在一个与电线相连的仪表小盒内，它可以提供0～5V的输出（响应频带0～20KHz）或4～20mA的输出（响应频带0～1KHz）、方便用户与采集接口。
七、CYG512型*形压力传感器（*压）
CYG512型薄形压力传感器是专为空气动力学研究中，风洞中*形模型上下表面压力场分布设计的，是CYG511的改进型。尤其适用于缩模径向尺寸较大，厚度很小，不能或不容易挖坑贴埋，只能贴于表面的工况设计的。1mm左右的厚度使其对流场的影响减小到很小的程度。
CYG512使用了CYG511同样的*的硅硅直接键合的压力敏芯片，具有很优良的静态力学特性。由于精密设计与*的封装结构在将总厚度缩小到1mm左右的同时，也就大大减小了敏感元件与传感器进压壳体封装空间的容积，将浅型管腔对动态频响的影响减至*小，因此它具有优良的动态特性。
CYG512的标准量程在100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa可选订。
CYG512的有两种外形尺寸：一种为薄扣形。ф8 mm直径，总厚度为1.2 mm；一种为薄条片形，6×10×1mm引出线均为4mm宽，0.15mm厚，1m长柔性引线。薄扣形为不锈钢结构，上表面*不锈钢薄膜上有激光钻刻的均布式和螺旋线形进气筛孔。薄条式无顶盖，*在贴装敏感元件处复盖很薄的*硅保护膜，用户可接自己的实用工况需求进行选择。
性能指标参数
指标
档级 非线性精度
%FS 迟滞重复性
%FS *位温度系数
×10-4 FS /℃ 灵敏度温度系数
×10-4 FS /℃ *位时漂
＜mv/8h
JA 0.5 0.2 5 5 0.2
* 0.2 0.1 2 2 0.1
满量程输出 *小值30mv 典型值80mv *大值130mv
输入输出阻* *小值3 KΩ 典型值5 KΩ *大值7 KΩ
输入工作电流 1.5 mA（表压型） 1mA（*压型）（恒流源）
工作温度范围 -55℃～+120℃
补偿温度范围 -10℃～+80℃
过载能力 额定量程的200%
加速度灵敏度 ＜0.001%FS/g
外形尺寸图
CYG512S CYG512C
CYG512系列产品的标准产品引出柔性导线长度为1m，在1m的末端有为传感器信号调理与补偿设计的小型平衡管。为方便用户，传感器也可以按用户商定的恒压源供电，此时厂方将平衡管适度*，装入转换恒流源。（收费服务）
CYG512系列产品为方便不具有，或不愿意自己现场实验与自制放大器的客户提供配套服务，提供标准输出的CYG1512传感器，信号放大调理部份分体装在一个与电线相连的仪表小盒内，它可以提供0～5V的输出（响应频带0～20KHz）或4～20mA的输出（响应频带0～1KHz）、方便用户与采集接口。
八、CYG513型薄形压力传感器（表压）
CYG513型薄形压力传感器是专为空气动力学研究中，风洞中试验模型表面压力场分布设计的。它尤其适用于模型很薄，无法用打孔安装微型探针型传感器的应用工况。将*薄的CYG513传感器直接贴装或挖浅坑埋下平贴齐模型表面安装。CYG513的*薄的*柔性引线可直接贴在模型表面上。因此它基本上不影响被测流场。
CYG513的压力敏感元件采用当代**的MEMS技术设计与制造。三维集成、双面*的硅压阻压力敏感元件具有*的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械*，精密各向异性腐蚀及硅-玻璃阳*键合技术使得硅薄膜力敏结构具有很高灵敏度，很优良稳定性，很优良动态性能的同时具有较薄的厚度。综合力敏结构与衬底*结构的总厚度*为0.9mm，有利于获得较薄*终尺寸的薄形传感器。
CYG513为表压测量模式，它的标准量程在2、5、10、25、40、60、100、160、250、400、600、1000、KPa可选订。
CYG513外形为薄园扣式。*小直径为ф10mm、厚度为4 mm，参考压力既可在背面开口引出（513G），也可以在侧面引线部用毛细管引处（513D），引出线为5线柔性电线，长度为1m，在1m终点处接有用PCB板制成的电桥补偿平衡器，柔性电线的厚度为0.15 mm，宽度为4 mm。（也可用Φ1.75mm、Φ2.2mm、Φ2.5mm多芯屏蔽电缆出线）
CYG513由于用敏感元件反面承压，因此它有优良的介质兼容性，也可用于水流动力学用途。它有相当宽的工作温区和*优良的动态频响特性，可使用在**频，高至数万赫兹频带。
性能指标参数
指标
档级 非线性精度
%FS 迟滞重复性
%FS *位温度系数
×10-4 FS /℃ 灵敏度温度系数
×10-4 FS /℃ *位时漂
＜mv/8h
JA 0.5 0.1 5 5 0.2
* 0.2 0.1 2 2 0.1
注：量程小于25KPa: 迟滞重复性0.2%FS,*位时漂*＜0.2mv/8h，JA＜0.3mv/8h
满量程输出 *小值30mv 典型值80mv *大值130mv
输入输出阻* *小值3 KΩ 典型值5 KΩ *大值7 KΩ
输入工作电流 1mA（恒流源）
工作温度范围 -55℃～+120℃
补偿温度范围 -10℃～+80℃
过载能力 额定量程的200%
加速度灵敏度 ＜0.001%FS/g
外形尺寸图
CYG513G CYG513D
CYG513系列产品的标准产品引出柔性导线长度为1m，在1m的末端有为传感器信号调理与补偿设计的小型平衡管。为方便用户，传感器也可以按用户商定的恒压源供电，此时厂方将平衡管适度*，装入转换恒流源。（收费服务）
CYG513系列产品为方便不具有，或不愿意自己现场实验与自制放大器的客户提供配套服务，提供标准输出的CYG1513传感器，信号放大调理部份分体装在一个与电线相连的仪表小盒内，它可以提供0～5V的输出（响应频带0～20KHz）或4～20mA的输出（响应频带0～1KHz）、方便用户与采集接口。
九、CYG514型薄形压力传感器（*压）
CYG514型薄形压力传感器是专为空气动力学研究中，风洞中试验模型表面压力场分布设计的。它尤其适用于模型很薄，无法用打孔安装微型探针型传感器的应用工况。将薄的CYG514传感器直接贴装或挖浅坑埋下平贴齐模型表面安装，因此它基本上不影响被测流场。
CYG514的压力敏感元件采用当代**的MEMS技术设计与制造。三维集成、双面*的硅压阻压力敏感元件具有*的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械*，精密各向异性腐蚀及硅硅直接键合技术使得硅薄膜力敏结构具有很高灵敏度，很优良稳定性，很优良动态性能的同时具有*的厚度。它综合力敏结构与衬底*结构的总厚度*为0.6mm，更有利于获得更薄*终尺寸的薄形传感器。
CYG514外形为薄园扣式。标称直径为ф11 mm，厚度为2.8 mm(带出线护管型厚度为3mm)，引出线为5芯屏蔽电缆，在电缆终点处接有用PCB板制成的电桥补偿平衡器。
CYG514由于用敏感元件正面承压，因此它适用于*无腐蚀性，不导电性的干燥气体。它有相当宽的工作温区和*优良的动态频响特性，可使用在**频，高至数千赫兹频带。如果介质因素复杂，含水量高，可使用复盖有*硅凝胶保护表面及电*的CYG514S，*硅凝胶会有些降低其动态频响性能。
采用薄膜*材料覆盖保护的产品CYG514P，由于保护膜厚度为um量级，因此对动态频响损失较少，但*周期较长及有较多的成本增加。
CYG514的标准量程在100、160、250、400、600、1000、1600、2500、4000KPa可选订。
性能指标参数
指标
档级 非线性精度
%FS 迟滞重复性
%FS *位温度系数
×10-4 FS /℃ 灵敏度温度系数
×10-4 FS /℃ *位时漂
＜mv/8h
JA 0.5 0.1 5 5 0.2
* 0.2 0.1 2 2 0.1
满量程输出 *小值30mv 典型值80mv *大值130mv
输入输出阻* *小值3 KΩ 典型值5 KΩ *大值7 KΩ
输入工作电流 1mA（恒流源）或12VDC
工作温度范围 -55℃～+120℃
补偿温度范围 -10℃～+80℃
过载能力 额定量程的200%
加速度灵敏度 ＜0.001%FS/g
外形尺寸图
CYG515型薄形压力传感器（*压）
CYG515型薄形压力传感器是专为复杂环境下空气动力学研究中，模型表面压力场分布设计的。它尤其适用于模型很薄，无法用打孔安装微型探针型传感器的应用工况。将CYG515传感器直接贴装或挖浅坑埋下平贴齐模型表面安装。CYG515的*细电缆引线可直接贴在模型表面上。因此它基本上不影响被测流场。
CYG515的压力敏感元件采用当代**的MEMS技术设计与制造。三维集成、双面*的硅压阻压力敏感元件具有*的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械*，精密各向异性腐蚀及硅硅直接键合技术使得硅薄膜力敏结构具有很高灵敏度，很优良稳定性，很优良动态性能的同时具有*的厚度。
CYG515外形为薄园扣式。1:标称直径为ф11 mm，厚度为3.2 mm(带出线护管型，线径ф1.7mm)。 2:标称直径为ф12 mm，厚度为4 mm(带出线护管型，线径ф2.2mm推荐)。3: 标称直径为ф12 mm，厚度为5 mm(带出线护管型，线径ф2.5mm*干扰推荐)。引出线为5芯屏蔽电缆，在电缆终点处接有内代恒流源的电桥补偿平衡器（尺寸ф12mm×25mm）。
CYG515由于用敏感元件背面承压，因此它适用于无腐蚀性的气液体测量。它有相当宽的工作温区和*优良的动态频响特性，可使用在**频，高至数千赫兹频带。如果介质因素复杂：如水中或户外露天等环境中使用。
性能指标参数
指标
档级 非线性精度
%FS 迟滞重复性
%FS *位温度系数
×10-4 FS /℃ 灵敏度温度系数
×10-4 FS /℃ *位时漂
＜mv/8h
JA 0.5 0.1 5 5 0.2
* 0.2 0.1 3 3 0.1
量程0～50KPa、100KPa、150KPa、300KPa、400KPa、800KPa、1200KPa、2400KPa (*压)
满量程输出 *小值60mv 典型值100mv *大值150mv
初始*位 *小值－20mv 典型值0mv *大值20mv
输入输出阻* *小值3 KΩ 典型值4KΩ *大值5 KΩ
输入工作电流 1.2mA（恒流源）或12VDC
工作温度范围 -55℃～+120℃
补偿温度范围 -10℃～+60℃
过载能力 额定量程的200%
加速度灵敏度 ＜0.001%FS/g
外形尺寸图
CYG516型薄形压力传感器（表压）
CYG516型薄形压力传感器是专为空气动力学研究中，风洞中试验模型表面压力场分布设计的。它尤其适用于模型很薄，无法用打孔安装微型探针型传感器的应用工况。将*薄的CYG516传感器直接贴装或挖浅坑埋下平贴齐模型表面安装。CYG516的Φ4mm*细导气的*电缆可直接贴在模型表面上（参考管可以与电缆分离，也可与电缆一体）。因此它基本上不影响被测流场,同时解决了参考拉力的引出。
CYG516的压力敏感元件采用当代**的MEMS技术设计与制造。三维集成、双面*的硅压阻压力敏感元件具有*的线性精度、离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的高度一致性使其具有很小的温度漂移、体微机械*，精密各向异性腐蚀及硅-玻璃阳*键合技术使得硅薄膜力敏结构具有很高灵敏度，很优良稳定性，很优良动态性能的同时具有较薄的厚度。综合力敏结构与衬底*结构的总厚度*为0.9mm，有利于获得较薄*终尺寸的薄形传感器。
CYG516为表压测量模式，它的标准量程在2、5、10、25、40、60、100KPa可选订。
CYG516外形为薄园扣式。*小直径为ф15mm、厚度为5.9 mm，参考压力侧面通过导气电缆线部引出，引出线为5芯屏蔽电缆。 CYG516由于用敏感元件反面承压，因此它有优良的介质兼容性，也可用于水流动力学用途。它有相当宽的工作温区和*优良的动态频响特性，可使用在**频，高至数万赫兹频带。
性能指标参数
指标
档级 非线性精度
%FS 迟滞重复性
%FS *位温度系数
×10-4 FS /℃ 灵敏度温度系数
×10-4 FS /℃ *位时漂
＜mv/8h
JA 0.5 0.1 5 5 0.2
* 0.2 0.1 2 2 0.1
注：量程小于25KPa: 迟滞重复性0.2%FS,*位时漂*＜0.2mv/8h，JA＜0.3mv/8h
满量程输出 *小值30mv 典型值80mv *大值130mv
输入输出阻* *小值3 KΩ 典型值5 KΩ *大值7 KΩ
输入工作电流 1mA（恒流源）
测量介质温区 -55℃～+120℃
工作温度范围 -40℃～+80℃
补偿温度范围 0℃～+60℃
过载能力 额定量程的200%
加速度灵敏度 ＜0.001%FS/g
外形尺寸图
CYG516
CYG516系列产品为方便不具有，或不愿意自己现场实验与自制放大器的客户提供配套服务，提供标准输出的CYG1516传感器，信号放大调理部份分体装在一个与电线相连的仪表小盒内，它可以提供0～5V的输出（响应频带0～20KHz）或4～20mA的输出（响应频带0～1KHz）、方便用户与采集接口。
CYG522型薄形水工压力传感器（表压）
CYG522型薄形水工压力传感器是专为水动力学研究中，水洞、水槽中试验模型表面压力场分布设计的。它尤其适用于模型很薄，无法用打孔安装微型探针型传感器的应用工况。将*薄的CYG522传感器直接贴装或挖浅坑埋下平贴齐模型表面安装。CYG522的*细的*电缆线（Φ1.75mm）可直接贴在模型表面上。因此它基本上不影响被测流场。
CYG522的压力敏感组件采用当代**的MEMS技术设计与制造。
CYG522为表压测量模式，它的标准量程在10、25、40、60、100、160、250、400、600、1000、KPa可选订。
CYG522外形为薄园扣式。*小直径为ф10mm、厚度为5 mm，参考压力既可在背面开口引出，也可以在侧面引线部用毛细管引处，引出线为5线屏蔽电线。（外型*要求可*）
CYG522由于用敏感组件反面承压，因此它有优良的介质兼容性，也可用于与硅、玻璃、不锈钢相容介质测量。它有相当宽的工作温区和*优良的动态频响特性，可使用在**频，高至数万赫兹频带。
性能指针参数
指标
档级 非线性精度
%FS 迟滞重复性
%FS *位温度系数
×10-4 FS /℃ 灵敏度温度系数
×10-4 FS /℃ *位时漂
＜mv/8h
JA 0.5 0.1 3 3 0.2
注：量程小于25KPa: 迟滞重复性0.2%FS,*位时漂JA＜0.3mv/8h
满量程输出 *小值25mv 典型值80mv *大值130mv
输入工作电流 1.5mA（恒流源）
工作温度范围 -40℃～+80℃
测量介质温度范围 -55℃～+120℃
补偿温度范围 0℃～+70℃
*载能力 额定量程的200%
加速度灵敏度 ＜0.001%FS/g
外形尺寸图
CYG522系列产品的标准产品引出屏蔽电缆线长度为1m，在1m的末端有为传感器信号调理与补偿设计的小型平衡管，为方便用户，也可选择在传感器内部选择微型组件直接补偿，传感器也可以按用户商定的恒压源供电，此时厂方将平衡管适度*，装入转换恒流源。（收费服务）如电缆长度也可按照用户需求*（20元/米）
CYG522系列产品为方便不具有，或不愿意自己现场实验与自制放大器的客户提供配套服务，提供标准输出的CYG1522传感器，信号放大调理部份分体装在一个与电线相连的仪表小盒内，它可以提供0～5V的输出（响应频带0～20KHz）或4～20mA的输出（回应频带0～1KHz）、方便用户与采集接口。
CYG571微型渗透水压力传感器（*压、表压）
该产品力敏元件利用硅压阻效应，通过MEMS工艺及微封装技术相结合制作而成，当敏感元件感受到压力作用时，将会输出一个与压力成正比变化的电压信号。
该产品适用于小尺寸模型中非饱和以及饱和土体中渗透水压测量，通常与动态土应力传感器配套使用。该产品具有微小的外型尺寸、较宽的量程范围、优异的静态特性以及长期的稳定性，较常规渗透水压力传感器具有更高的灵敏度。
CYG571为表压模式，标准压力量程为2、5、10、15、25、40、60、100、200、400、600、1000KPa。为方便水工用户，也可以按mH2O为单位订货.
CYG571A*压模式，标准压力量程为50、100、150、300、400、800、1200、2400KPa
性能指标参数
指标
档级 非线性精度
%FS 迟滞重复性
%FS *位温度系数
×10-4/℃.FS 灵敏度温度系数
×10-4/℃.FS *位时漂
＜mv/8h
JA 0.5 0.1 5 5 0.2
* 0.2 0.1 2 2 0.1
满量程输出 *小值30mv 典型值60mv *大值100mv
输入输出阻* *小值3 KΩ 典型值5 KΩ *大值7 KΩ
输入工作电流/电压 1.2/1.5mA（恒流源），12VDC(恒压源)
表压型：
测量介质温度 -40℃～+120℃
工作环境温度 -20℃～+60℃（可应要求扩宽）
补偿温度范围 0℃～+50℃（可应要求扩宽）
*压型：
测量介质温度 -40℃～+120℃
工作环境温度 -30℃～+105℃（可应要求扩宽）
补偿温度范围 0℃～+50℃（可应要求扩宽）
过载能力 额定量程的200%(表压型*大至1.2MPa)
加速度灵敏度 ＜0.002%FS/g
电缆出线：Φ2.2mm屏蔽多芯电缆/Φ2.5mm双屏蔽双绞多芯电缆可选(表压型外套*水导气PVC管)
外形尺寸图(也可*设计*)：S为*短款其透水石不可拆卸型，标准型其透水石为可拆卸型，标准透水石直径Φ4mm，如需透水石直径*，传感器直径也需随之*。
CYG571系列产品为方便不具有，或不愿意自己现场实验与自制放大器的客户提供配套服务，提供标准输出的CYG1571传感器，信号放大调理部份分体装在一个与电线相连的仪表小盒内，它可以提供0～5V的输出或4～20mA的输出、方便用户与采集接口。
