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多晶硅尾气回收系统主要杂质为氯化氢及氯硅烷、氯硅烷十分活泼,遇水即生成氯化氢及氧化硅,因此系统对水有严格要求。系统对设备材质、密封性能等也有严格要求。采用变压吸附及变温吸附联合工艺,一次性去除*杂质,在*吸附效果、*产品质量的同时兼顾解析效果,使吸附剂彻底再生。利用吸附剂所具有的特性,吸附杂质组分的能力远强于吸附氢气能力,可以将混合气体中得氢气提纯。
多晶硅尾气系统提纯难度较大,但南通星瑞热交换容器有限公司具有成熟的,具有*自主知识产权的多晶硅尾气回收系统成套提纯技术,具有以下四大特点:
*的吸附工艺技术:采用变压吸附及变温吸附联合工艺,一次性去除多晶硅尾气*杂质,在*吸附效果、*产品质量的同时兼顾解析效果,使吸附剂彻底再生。
吸附解析气回收:洗涤净化*了洗涤气出口氯化氢等杂质的浓度,它为回收吸附净化的解吸气打好了基础。将多晶硅尾气工艺的解吸气回收至原料尾气中,大大*了氢气的收率。
系统*设计:多晶硅尾气回收系统的工艺系统、设备、仪表、电气的设计要充分考虑装置介质的*性要求,采用爆破板与*阀结合、采用双管板换热器、磁力泵、稳定*的冗余控制系统、本安仪表、自动分析检测、自动报警系统、联锁系统、U*不间断电源等手段,使装置在本质*性、安定性上*一个较高水平。
工程技术*:多晶硅尾气回收系统采用*的化工过程模拟软件,对全流程进行模拟计算,对各种参数的变化都经过模拟计算的到*优化的解决方案,通过对各种变化的计算比较,给出**的设计。它兼顾了各种工况条件,*设计*,避免因操作状态与设计的偏差带来的品质差异。
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多晶硅炉
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