真空电容器MEIVAC

MEIVAC真空电容器系列，是基于明电舍的真空技术而开发的一种真空电容器。
真空电容器有以下用途
1 作为半导体薄膜制造设备的阻*整合器
2 通信器材的发报线路，同调回路
3 诱电加热设备的共振回路
4 各种高频率电源的电压增幅回路

近年来，由于半导体产业的发展，真空电容器的用途扩大至CVD，蚀刻，滴溅设备等半导体薄膜制造设备阻*

真空电容器MEIVAC的特征是

高耐电压真空的耐电压高，易于实现小型化；低损失可以适用于高RF频率；大电流通电

无整流子结构形式，适合大电流；高信赖性具有自我恢复性，可以承受*过电压；