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三维测量显微镜
三维测量显微镜广泛应用于半导体,电子工业进行晶体,集成电路的检验和*测量.配备有冷光源光纤反射照明,成象和观察系统,偏光装置.
一、规格
1、光学成象系统
(1)无限远光学系统,管镜焦距200mm
(2)铰链式三目镜筒,30°倾斜, 瞳距55-75mm
(3)高眼点,大视场目镜WF10X/22
(4)长工作距离,平场复消色差物镜2X/0.055, 5X/0.14, 10X/0.28, 20X/0.29, 50X/0.42
(5)五孔物镜转换器
2、调焦系统
同轴粗微调焦机构,微动格值0.002mm
3、载物台
6″x8″双层活动平台,移动行程153x204mm
4、三维测量系统
(1)分辨率: 1μm
(2)测量精度: ±(2+L/200)μm
(3)重复定位精度: 2μm
5、照明系统
冷光源光纤反射照明器:150W
6、完善和*的测量软件
(1)完整的几何量测(如:点,线,圆,弧,角度等)
(2)坐标系的设定,摆正,旋转
(3)显示方式多样化;语言的转换,公英制单位的转换,角度的转换
二、软件介绍
§完整的几何量测(如:点、线、园、弧、角度等)。
角度的转换(度、度/分/妙);显示数字的小数点可自设;各种线的颜色可自设
运行桌面上的软件的快捷方式,进入软件界面,如下图:
坐标系的设定,摆正、旋转。
逆向工程功能以及与Auto CAD的同步操作使用以及与CAM的连接。
测量精准度的校正和补偿。
针对重复工件的量测有记忆、学习、自动编程的功能;快速准确的现场实时测量。
显示方式多样化:语言的切换(中文简体和繁体;英文等);公英制单位的切换(mm/inch);
标注随意化:可依据不同的语言、颜色、格式在图形的任何位置进行标注。
个性化的编辑:有复制、粘贴、删除、剪切、延伸以及UNDO/REDO。
A.菜单栏
B.常用快捷键
C.影像测量区
D.自动测量编程区 注意:*适用于自动系列
E.影像工具和绘图工具面板
F.状态显示区
G.运动控制区 注意:*适用于自动系列
H.制式工具面板
I.光栅数据区
J.图元数据区
K.全览图工具面板
L.全览图
§手动/电动平台 可选标准行程:
光栅线位移传感器 分辨率:1μm
精准测控―――精密准确的影像测量CNC自动控制系统
6"×8"(153×204mm)
分辨率:1μm
测量精度:±(2+L200)μm
重复定位精度:2μm
被测物容许重量: 13Kg
输出幅值:5V,相对角差90°的两路方波信号(TTL)
准确度(20℃):±(5+5L/1000)μm(L:传感器*量程)
*大速度:50m/minute
XYZ CNC全自动三维测量系统
§*的测量工具例举
1、 完整的几何量测(如:点、线、圆、弧、角度等);
2、 坐标系的设定,摆正、旋转;
3、 逆向工程功能,以及与AUTOCAD的同步操作使用;
传送到AUTOCAD
1、 测量精准度的校正和补偿;
2、 灵活的切换功能,语言的切换(中文简体和繁体;英文等);公英制单位的切换(mm/inch)角度的转换(度、度/分/秒);显示数字的小数点可自设;各种线的色彩可自设…
3、 灵活的标注:可依据不同的语言、色彩、格式在图形的任何位置进行标注;
个性化编辑:有复制、粘贴、删除、剪切、延伸、UNDO/REDO等功能。针对重复工件的量测有记忆、学习、自动编程的功能;
§高分辨率影像观察及储存功能
电脑直接截取影像测量仪器之影像并放大显示,还配有再次放大视窗,操作人员可以方便快捷的对工件进行准确的量测,并可同时获得量测数据,并可将影像直接存盘bmp、jpeg...等格式 ,这样可以通过邮件的传输直接与客户交流。
§精准的自动寻边功能
依据『灰阶感应设计』的原理,提供十字线之线条色彩、粗细、感应度、受感应区域之动态设定,使自动寻边更为*;从而大幅度减少了人为取点所产生的误差,大大*了测量之准确度。
§快速的影像公差比对功能
可根据规格标准自设尺寸和设定相关参数,制定合格与不合格之区间,系统则可自动快速的判断出工件是否合格。
§自动对焦功能
提供影像自动对焦功能,当系统启动后系统会自动寻找*清晰影像。
§精准的自动取点功能
*经算法设计影像自动判读功能,解决了人工逐一选点繁琐,*框选区域,软件将自动取点输入,直接量测。
◆取点依点、线、圆、弧、方形、不规则形状,可选择适当工具钮。
§各种报表的输出及同步与CAD的功能
任何量测结果、图形、影像、统计分析、SPC数据皆可汇出Microsoft Word、Excel,并加注公司抬头及背景资料。且可与CAD同步,动态传输,无需通过转档的方式。
§SPC统计功能
1.拥有*强SPC统计分析功能及开放式数据库,方便品保或其他部门直接获取数据及报表。
2.自动认识指定的量测数据,并计算其*大值、*小值、平均值、标准差、 Ca 、 Cp 、 Cpk …的运算,且可应用于生产线实时量测判断。
在量测数据输入时,各式图表( 如 : X-R、X-S、X-Rm...),立刻同步显示分析,遇到品质出现问题时,系统会自动以颜色或声音给操作人员以警示,利于检测人员或线上人员立即掌握
Z轴:手动Z轴(不带测量功能)
◆输入点数可选择1~999点,增加准确度。
◆毛边去除功能:可去除离散不正常之点边,避免了应为取多点而误判毛边的可能。
◆影像增强功能:影像清晰度可依据灰阶设定调整至满意程度。
调焦范围:290mm
Z轴带量测范围:4"(101mm)
分辨率:1μm
测量精度:10μm
底座尺寸(长)×(宽)×(高):610×450×65mm
平面度:0.05mm
MTD1000
牧坤