轩泰仪XTY5115492 综合型号电阻率测试仪

综合型号电阻率测试仪

一．1. 电阻率主要技术指标:

可测晶片直径（*大）Ф100mm,方形230×220mm
恒流源：电流量程为0.01～1mA连续可调，误差≦±0.5%。
数字电压表：输入信号量程：0～200mV,*大分辨率：100μV
电阻率显示：三位半数字显示：小数点、*性、过载、自动显示0.01-199.99欧姆。厘米
输入*阻：0.2mV和2mV量程：＞108Ω
测量精度：±5%。
*大电阻测量误差（按JJG508-87进行）：0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±5%读数±2个字。
重掺检测误差（JJG508-87进行）：1Ω≤±1%、0.5Ω≤±0.5%、0.1Ω≤±0.1%
测量环境：温度23±2℃，相对湿度≤65%
2、操作程序：
1、*先连好电源，打开后面板电源开关，电源指示灯亮，表示待机完毕。
2、校准设备：厚度小于3.98mm取与要备测试硅材料厚度相同的硅材料标准样块校准电阻率测试仪，测试厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一标准样块校准电阻率测试仪
3、测试：用四探针接触硅材料，以探针压下三分之二为准，待仪器显示数字稳定即可，
4校验：在测试过程中要求2小时用标准样块校准一次设备，
3、 针组件;维护及注意事项:
1、一般情况下,除了信号传输线的断裂引起的故障外, 针的维护主要包括针头的更换和针头 的 清理清洁工作
2、维护后的安装及维护过程中,*须注意安装过程中的排线位置,按绿红黄黑（1234）位置排列。
二、P/N型号判别功能:
1． *判别半导体硅材料导电类型(P/N)；
2． 准确判定电阻率为0.1Ω.cm和0.5Ω.cm以下的重掺硅料；
使用与操作说明：
1. 面板功能
仪器面板主要由导电类型字*(P/N)数码显示，重掺档位选择开关及其声讯指示，电源指示和探测信号输入输出组件。
2. 操作步骤
*先连接好电源，打开后面板电源开关，红色指示灯显示，表示待机完毕。接着进行重掺档位设定：如果选择开关设置I档表示检测硅料电阻率为0.1Ω.cm以下的重掺；以重掺样块检测，此时红色指示灯应点亮，同时蜂鸣报警指示。如果选择开关设置于Ⅱ档表示检测硅料电阻率为0.5Ω.cm以下的重掺；以重掺样块检测，此时红色指示灯应点亮，同时蜂鸣器报警指示。
3. 功能识别
本仪器采用的LED数码管显示，既可以直观的指示待测硅料型号，又可以对其电阻率大小进行错率的界定。
4. 注意事项
在判别过程中测试速度和频次不宜过高，同时尽量保持探头与料块垂直，以探针良好接触料块后的稳定显示字*为准。

轩泰仪（北京）科技有限公司
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