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基于*的MEMS硅微加工技术,传感器具有体积小、低功耗等特点,易于集成在各种模拟和数字电路中,广泛应用于汽车碰撞实验、测试仪器、设备振动监测等领域。
61系列基于压阻式原理,典型应用与人头模拟冲击测试。
参数如下:
否
精量Meas
61
加速度
金属
半导体
单晶
集成
模拟型
IP65
1(%F.S.)
运动型传感器
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