FM310微小量气体流量计应用：
半导体制造行业、真空镀膜设备、环境检测与分析设备、各行业气体流量检测和控制、特种材料表面处理装置与燃烧控制、混气配气系统和泄露探测系统等。
FM310微小量气体流量计技术指标：
标定气体：氮气(N2)
质量流量单位：SCCM（标准毫升/分）；SLM（标准升/分）。
标准状态为：温度：273.15K（0℃）；气压：101325Pa(760mmHg)
量程：0～5，10，20，30，50，100，200，300，500SCCM；0~1，2，3，5，10，20，50，80，100，120，150SLM
调节阀类型：电磁调节阀（流量控制器）
调节阀静止状态：常闭
准确度：±1%F.S(10SCCM～10SLM规格，其余规格≤±2% F.S)
线性：±0.5～1.5%F.S
重复精度：±0.2%F.S
响应时间：6～8 Sec
工作压差范围：0.05～0.4MPa；0.1～0.4MPa(10～30SLM)
耐压：3MPa；10MPa
材料：不锈钢316L
标准密封材料：Viton，EPDM或其他由用户指定
接头：Φ6mm, Φ1/4″Swagelok，1/4″VCR或其他由用户指定
输入输出信号：0～＋5.00V (输入阻*≥100KΩ,负载输出电流能力≤3mA)
供电电源：±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
外形尺寸mm:130（宽）×102（高）×28（厚）
