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当基板的铜(Cu)溶解于蚀刻药液(CuCl2)中,二价铜会转变为一价铜。(随着铜的溶解,电位值既ORP值会下降)。一价铜和HCl会因空气中的O2而产生再生反应。但是,生产量大时,空气的O2来不及再生的部份,便需要H2O2做氧化剂。
当一价铜一增加,ORP值就会下降,而蚀刻液中的一价铜再生为二价铜时,ORP值就会上升
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