系统组成：扩散炉主机、推拉舟及净化工作台、气源柜、排毒柜、微机控制柜
扩散炉管数：1~4管
主要技术指标：
★炉管内径：￠90~￠240（2英寸~6英寸）
★恒温区长度及精度：≤1000mm±0.5℃（300℃~1290℃）
★控温仪表：进口高精度控温仪
★气源路数：主管道1~4路
★气体种类：N2、H2、O2、HCL等
★气源控制：MFC或浮子流量计
★推拉舟行程：最大2000mm
★推拉舟速度范围及精度：（20~1000）±2mm/min
★推拉舟方式：简易式、悬臂式、SiC硅桨式
★冷却方式：水冷+风冷
★工控机：工控机控制
设备特性：
具有多条工艺曲线，调用方便快捷；运行中，具有停电记忆功能；
触摸微机界面，操作方便；具有超温保护功能。
