供应太阳能光伏扩散炉

地区:山东 青岛
认证:

青岛育豪微电子设备有限公司

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工作温度: 300~1300
*口径根据用户扩散片确定,可*
恒温*度: 1080mm(可根据用户要求*)
温区精度 (静态闭管测试)
      600
<工作温度<1200 ±0.5
      300
工作温度≤600 ±1
单点温度稳定性(静态闭管测试)
      600
<工作温度<1200 ±0.5/24h
      300
工作温度≤600 ±1/24h
温度斜变能力:
      
*大可控升温速度(3001300)15/min
      
*大降温速度(1300900) 5/min 
气体流量设定精度: ±2FS
气路系统气密性: 1×10-7pa.m3/s
自动送料装置行程: ~2000mm
      
速度: 5~1000mm/min
      SiC
浆承重 19kg
装片数量 400/
净化台洁净度 100级(10000级厂房)
三相五线制 380V±10%50Hz±10%Hz
冷却水: 24Kgf/cm2,~8L/min
太阳能电池扩散主要有开管扩散和闭管软着陆扩散两种形式
    闭管磷扩散,带有工艺废气冷却定向回收装置,偏磷酸、CL2分开收集处理;工艺废气集中收集从尾部定向排出;各种工艺气体可分开送入石英管内,工艺气体(三氯氧磷)可采用喷淋式方式引入到石英管内。闭管软着陆扩散方式工艺过程*不受外界环境干扰,工艺质量*受保护。
自动化程度:自动控制温度及工艺过程。主控温控模块采用国外*,可在*±0.25的控制精度。
送取片方式:悬臂式推拉舟。采用侧面布局的悬臂推拉结构,可*的*偏磷酸下滴,造成推拉机构受腐蚀,影响推拉机构的*性。
设备名称

太阳能光伏扩散炉

型号/规格

YH-QH

品牌/商标

育豪

原产地

青岛