• 表面直接测量
• 可反复测量
• 非破坏性测量
• 表面成像记录
• 测量微粒大小和计量数量
• 表面微粒区域定位
• 数据和图像储存
• 各类界面设置
• 保存每一界面设置
• 表面大颗粒微粒计量
• 设计*

• 应用支持和培训
• 区域服务
• 较高的*性
• *技术服务支持
• 用户*

• SMIF 和 FOUP 产品的洁净测试
• *率的室内清洁
• 晶圆和磁盘的替换
• 操作系统的测试
• 洁净度
• 洁净流程的评估
• 表面沉积率的评估
• 洁净室表面测试
• 测量0.5～4000微米的微粒
• 设备洁净程度评估

测量原理

• 图像掠影描述
• 粗略表面淡化
• 微粒光学成像
• 采用摄像机记录图像
• 数字成像进程分析

图像掠影技术

• 技术层面微粒污染的高质量对比记录
• 直接测量技术
• 在线连接
• *自动化的控制
• 重复测量结果

微粒监测显示和分析设备

• 15寸TFT显示屏
• 分*测量头供应和控制模块
• 图像编辑模块
• 带有windows 2000 操作系统的分析器
• windows 2000 办公软件
• 微粒监测图像处理软件
• 微粒监测分析软件
• 5.1 微粒
• 尺寸：宽×长×高 410×240×350毫米
• 操作指南

测量范围

0.5 - 4000 微米

侦测范围

0.5 微米 (50% 计数率)

测量范围

4 x 6 毫米

分析周期

30毫秒以上

测量头大小

65 x 65 x 80 毫米 (宽x长x高)

测量头电线长度

1.3 米

显示器

TFT

分析功能

－*大.微粒长度
－每一类微粒数量

输入电源

115VAC, 7A, 50-60Hz or
230VAC, 8A, 50-60Hz

图像格式

JPEG, BMP

操作系统

MS Windows

数据格式

CSV