供应美国MKS质量流量计

美国MKS质量流量计

数字式;
流量范围:10-30000 sccm;
*大进气压力:150 psig;
考验压力:1000 psig;
精度:±1% of Setpoint for 20 to 100% F.S.;0.2% of F.S. for <20% of Reading;
阀门类型:
阀门常开;
阀门常闭
美国MKS PFC-60数字金属密封质量流量控制器
PFC-60_πMFC数字低压、多种气体、多种量程金属密封质量流量控制器
数字式;
流量范围:10-30000 sccm;
*大入口压力:150 psig;
压力精度:1% of Reading;
温度精度:±2℃
640型*对压力控制器是用于逆流气体或顺流气体压力控制的紧凑型、闭环电子控制器件。它包括一个Baratrona电容压力计，常闭的配量控制阀和闭环控制电路。
 在电气方面640型与标准的MFC系列相似，由直流200mA、15V的电源供电，可与标准的电源/显示电路配合使用。压力输出和输入信号为线性直流0-5V或0-10V。640型还配有两个LED状态显示的跳闸点，用作简单的工艺过程限制的开/关处理。一般用于包括起泡器背景压力控制，气体分叉管的压力控制和硅片背面的压力控制等
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM，30000SCCM，50000SCCM(可选)
控制量程：2% to 100% 的全量程。
测量精度：全量程的1%
灵敏度：全量程的0.1%
热机时间：小于2Min.
响应速度：小于2Sec.
输入电压：±15VDC@100ma
输出电压：0-5VDC
连接器：模拟： 9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
        数字：RS485或Device net或Profibus
法兰接口：Swagelok 4VCR，Swagelok4 VCO，Swage 1/4”等
材质：316 不锈钢
1150蒸汽源质量流量控制器MFC是一种基于压力的测量和控制系统，用于直接测量和控制从低蒸汽压液体源和固体源中产生的蒸汽，而无需其它运载气体。
  1150由一个固定流体单元、一个用于流量测量的电容压力计和一个用于流量控制的比例电磁控制阀(美国*号No . 4,679,585)组成。1150组装为一个紧凑的、可控制温度的组件，配有一个温度状态LED显示器和继电器来显示温度是否处于合适的范围。