半自动晶圆减薄贴膜机
(型号STM-100)
1. 主要规格
1.1 晶圆尺寸: 直径:3”,4, ”5, ”6”,8”,12”(客户指定)
厚度:300~750微米
1.2 晶圆种类: 硅, 砷化镓或其他
单边,双边,v型缺口
1.3 膜种类: 蓝膜或者UV膜
宽度: 180~320 毫米
长度: 100 米
厚度: 0.05~0.2 毫米
1.4 贴膜原理: *静电滚轮贴膜
1.5 贴膜动作: 膜自动传送并贴覆
1.6 切割刀温度: 可控温度在室温~150°C
1.7 晶圆台盘: 通用特氟隆涂层接触式台盘
1.8 装卸方式: 晶圆手动放置与取出
1.9 *静电控制: *静电特氟隆涂层晶圆台盘/*静电膜传送滚轮和*静电贴膜滚轮
贴膜部位配*静电离子风棒装置
1.10切割系统: *的可调整的环切刀技术,一圈即可适应各种晶圆外形,
*飞边,无需二次修剪,
*的直切刀技术*胶膜应用*节省
1.11晶圆定位: 气动销钉接触晶圆的边缘
1.12控制单元: 基于PLC 控制带5”触摸频
1.13电力供应: 单相交流电220V,10A
1.14压缩空气: 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟2立方英尺
1.15体积: 500毫米(宽)*800毫米(深)*350毫米(高)
1.16净重: 70公斤
2. 机器性能:
2.1 晶圆收益: >=99.9%
2.2 贴膜质量: 没有气泡(不包括碎粒气泡)
2.3 每小时产能: >=80 片晶圆
2.4 更换产品时间: <=5 分钟
3.文件及手册 :
3.1 操作及维修手册 1 套
3.2 操作及维修手册光盘 1 张
4. 安装,培训及验收:
4.1 卖方负责将机器安装,调机,试运行及性能测试
4.2 卖方给于买方内部操作员工,工程师, 维护人员完善的技术培训直到他们可以稳定*地操
作机器
4.3 机器的验收包括预验收与*终验收. 预验收应该在卖方工厂完成,*终验收在买方指定
的地点完成.*的验收项目包括确认产品说明,产品运行,模拟测试与产品生产等.
5. 保修条款:
5.1 卖方*设备*满足买方正常生产要求及购买规格
5.2 保修期为买方正式验收起12个月内
