类型:白光干涉仪 品牌:智泰 型号:SIS-2000 品种:其他干涉仪 测量分辨率:0.1nm 用途:TFT、半导体芯片、材料、微电机系统
仪器特点：
1 、非接触式测量：避免物件受损。
2 、三维表面测量：表面高度测量范围为 1nm ---200μm。
3 、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4 、纳米级分辨率：垂直分辨率可以*0.1nm。
5、*数字信号处理器：实现测量*需要几秒钟。
6 、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、*震、*压。
8 、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
