供应OVS-2500晶圆芯片外观检查装置

地区:广东 深圳
认证:

深圳智聚通电子

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OVS-2500晶圆芯片外观检查装置

利用线型摄影机(Line Camera)将安装于XYθ载台(Stage)上的晶圆芯片制成分析资料(Mapping Data)后,再以高解析度面型摄影机(Area Camera)同时检查多片芯片的装置。

此外,已将各种功能浓缩于精简的装置尺寸内。
世界*创! !正在申请*
*处理且稳定性出众

 

OVS-2500 NEW

OVS-5000 (*機型)

摄像機

200 象人元 (3CCD

200 象人元 (3CCD

透镜电动变焦

1 / 2 / 4 倍金屬顕微鏡

明暗视野兼用透镜

照明

同轴照明 斜光环形照明

利用物鏡

解析度 / 视野

5.8 μm / 9.4 x 7 mm 1 μm / 1.6 x 1.2 mm 

3.5 μm / 5.6 x 4.2 mm 0.9 μm / 1.4 x 1 mm

處理能力

10,000 / 每分钟(□ 200 μm / 视野20 个)
根據条件有變動

12,000 / 每分钟(□ 200 μm / 视野20 个)
根據条件有變動

晶片尺寸

6 inch Wafer Die size 150 μm

8 inch Wafer Die size 150 μm

电脑

2 pc s Windows 7 / 64 bit*分配选举可能扩大

4 pc s Windows 7 / 64bit

奇电力设备

功率 3 相 AC 200 V 50 / 60 Hz 20 A 以下
气动功率 0,5 Mpa

功率 3 相 AC 200 V 50 / 60 Hz 20 A 以下
气动功率 0,5 Mpa

裝置尺寸 / 重量

W1050 ×D900 ×H1650 mm / 800 kg 

W1400 ×D1100 ×H1750 mm / 1300 kg

设备名称

芯片外观检查装置

型号/规格

OVS-2500

品牌/商标

OKA*

原产地

日本