自动白光干涉仪SIS 2000

地区:广东 东莞
认证:

东莞市寮步智泰精密仪器经营部

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品牌:智泰(3DFAMILY) 型号:SIS 2000 操作方式:程序控制


基本信息
品牌:SNU型号SIS 2000操作方式:自动
功能:检测、观察、分析精度 :1nm
其它型号:
SIS 1200
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产品介绍
白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术,是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,,为韩国SAMSUNG**指定供应商,LPL友好俱乐部成员,清华大学,台湾大学,*尔大学友好合作伙伴。
产品特点
1、非接触式测量:避免物件受损。
2、三维表面测量:表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片:方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率:垂直分辨率可以*0.1nm。
5、*数字信号处理器:实现测量*需要几秒钟。
6、扫描仪:采用闭环控制系统。
7、工作台:气动装置、*震、*压。
8、测量软件:基于windows 操作系统的用户界面,强大而快速的运算。
技术参数

机型

SIS 2000

工作台

尺寸

350mm×350mm

倾斜度

&plu*n;3°

测量行程

X:200mm Y:200mm

Z轴行程

100mm

运动方式

自动,马达驱动

扫描速度

30μm/sec

垂直分辨率

0.1nm

CCD

黑白CCD640×480像素

物镜安装架

手动5个位移的可定位夹具

镜头选配

镜头:5×、10×、20×、50×

应用领域
1、TFT产业
2、半导体
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工
附件
水准测量器、旋转台、CCD、镜头、LED光源、扫描控制盒、PZT传感器、光源控制器等