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主要特征:
三轴导轨均采用*天然花岗岩,具有相同的温度特性及刚性? 三轴导轨均采用*自洁式空气轴承,运动更平稳,导轨*受磨损? 单边驱动活动桥式结构,显著*运动性能,*测量精度及稳定性? Y轴采用整体燕尾式导轨,*消除了运动扭摆,*了测量精度及稳定性? 欧洲开放式金属光栅尺,分辨率0.4 um? 控制系统采用欧洲**自动控制系统,该系统内嵌32位微处理器,真正实现实时控制? 三轴均采用大功率驱动器、电机及双级减速装置,*传动*、准确
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